Occasion LAM RESEARCH 853-025083-001 #293641757 à vendre en France
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LAM RESEARCH 853-025083-001 est un graveur/asher utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un graveur à plasma multi-chambres et haute densité capable de sculpter divers matériaux de substrat. 853-025083-001 dispose de quatre chambres de traitement équipées de sources radiofréquences indépendantes, permettant une gravure simultanée dans chaque chambre. Chaque chambre est capable de produire du plasma haute densité pour traiter rapidement des plaquettes. LAM RESEARCH 853-025083-001 offre un accès pratique à l'entretien, via une chambre de serrure avant bidirectionnelle. En outre, son nouvel équipement de distribution de gaz produit un débit de gaz précis pour des paramètres de gravure précis. 853-025083-001 est un système de gravure avancé, avec une technologie intégrée de polarisation des bords qui minimise les profils de gravure plasma. Son ioniseur RF modifié fournit un plasma haute densité pour des taux de gravure uniformes sur la plaquette. La gestion des sources alimentée par PlasmalabMD offre une flexibilité pour modifier les paramètres de gravure entre les substrats afin d'optimiser les résultats de gravure. La conception de la tête de douche co-axiale stimule le gaz ionisé pour des résultats de gravure uniformes. De plus, l'unité bidimensionnelle de vérification de l'état du processus, la détection en temps réel du point d'extrémité et le contrôle de la température améliorent les performances de la machine. LAM RESEARCH 853-025083-001 comprend une interface informatique automatisée qui peut être utilisée pour stocker des données, examiner les résultats, optimiser les paramètres de processus et modifier rapidement les recettes de groupe ou de transfert d'un outil à un autre. 853-025083-001 est construit avec des caractéristiques de sécurité, y compris un outil d'entretoisement flottant et une conception de boîtier sans processus qui protège le personnel et l'environnement contre les plasmas dangereux et les matières dangereuses. LAM RESEARCH 853-025083-001 est un actif de gravure avancé conçu pour la fabrication de plaquettes et la production de dispositifs semi-conducteurs. Il est équipé de caractéristiques qui fournissent des résultats de gravure uniformes tout en minimisant les profils de gravure plasma pendant la gravure. De plus, son interface informatique automatisée permet à l'utilisateur de stocker rapidement des données, de revoir les résultats et d'optimiser les paramètres du processus. Ses caractéristiques de sécurité protègent également le personnel et l'environnement pour les substances dangereuses.
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