Occasion LAM RESEARCH 9400 DFM #293764229 à vendre en France

LAM RESEARCH 9400 DFM est un équipement de gravure/cueillette par voie humide conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est doté d'une gamme complète de technologies de pointe conçues pour améliorer la performance des procédés, réduire le coût total de possession, réduire la contamination et améliorer la sécurité. 9400 Système DFM est composé d'une conception modulaire et est personnalisable pour comporter un large éventail de technologies et d'applications de processus. L'unité comprend l'imagerie intégrée, le contrôle de la température, la surveillance et les contrôleurs de débit massique (MFC). Ensemble, ces composants permettent une vitesse de dépôt constante, assurant une gravure/cueillette répétable de haute qualité. La conception multi-zones de LAM RESEARCH 9400 DFM permet un contrôle thermique optimal à chaque étape du processus. DFM comprend également une fonctionnalité unique qui permet le développement simultané de plusieurs chambres et des temps de cycle rapide. 9400 Machine DFM dispose d'un double débit de vapeur qui permet une plus grande sélectivité de gravure, une meilleure uniformité, et des performances de processus améliorées. L'actif comprend également un chauffe-wafer dédié permettant un meilleur contrôle de la température sur la surface du wafer, ce qui est essentiel pour produire des appareils de traitement de haute qualité et avancés. Le modèle comprend également un port ester de plaque de fenêtre pour la livraison de chimie de gravure en option et une anode d'hydrogène en option pour une gravure isotrope améliorée. La plateforme de LAM RESEARCH 9400 DFM comprend un équipement de contrôle 3800 et une suite de modules pour l'automatisation des processus, assurant des processus reproductibles et des données traçables. Les recettes de processus peuvent être stockées dans une base de données, consultées à distance et contrôlées directement à partir du service OPC du système. 9400 DFM est conçu avec une technologie de nettoyage in situ et de protection contre la surpression afin de réduire le potentiel de contamination des particules induite par le plasma, améliorant encore la performance du procédé. En conclusion, LAM RESEARCH 9400 DFM est conçu pour des performances élevées et est une solution idéale pour la fabrication de dispositifs avancés et de procédés microélectroniques. Il offre aux utilisateurs une configuration flexible, un contrôle optimisé de la température, une imagerie intégrée, des paramètres conviviaux, des temps de cycle rapides, une automatisation avancée des processus et une protection contre les impuretés.