Occasion LAM RESEARCH 9400 DFM #9207998 à vendre en France

LAM RESEARCH 9400 DFM est un graveur/asher spécialement conçu pour répondre aux exigences difficiles de fabrication de plaquettes de pointe. Cet équipement est capable d'une large gamme de procédés traditionnels de gravure sèche et humide, ainsi que de nouveaux procédés de croissance de gravure/cristal et de polissage mécanique chimique. Le système dispose d'un logiciel de contrôle de processus avancé et d'un ensemble optique de pointe qui offre une productivité et des performances supérieures pour le traitement des plaquettes haut de gamme. L'unité est capable de graver et d'aspirer des caractéristiques jusqu'à des dimensions submicroniques et des structures complexes dans les dimensions planaires et 3D wafer. Les systèmes de livraison double permettent d'améliorer le débit et la flexibilité des utilisateurs. La machine offre également des capacités de gestion thermique, avec ses technologies avancées de régulation de la température et d'évacuation de la chaleur. 9400 DFM est livré avec une variété de modules, tels que le module transducteur haute pression qui est spécifiquement conçu pour améliorer le dépôt de couches minces. Il dispose également d'un module de dépôt à haute température qui permet un contrôle précis du traitement thermique rapide. Les cendres telles que le cendrier métallique à trois chambres ont une capacité de chargement/déchargement automatisé pour une opération entièrement automatisée. LAM RESEARCH 9400 DFM dispose d'une gamme de capacités avancées de surveillance des processus tels que la surveillance réflectométrique (RPM) et l'interférométrie laser. Cet outil numérique avancé surveille en permanence la profondeur de gravure et la température pour assurer un contrôle optimal du processus. En outre, il comprend des systèmes de contrôle spécialisés pour surveiller les données de production ou déclencher des alarmes pour détecter d'éventuelles erreurs de processus. L'actif comprend également un modèle de métrologie des couches qui fournit une analyse détaillée des défauts des structures de grille élargie et de l'épaisseur de la couche de résine photosensible. 9400 DFM offre également une technologie de suivi avancée qui comprend un équipement de détection de particules pour surveiller et filtrer les niveaux de particules et de contaminants. Ceci conduit à un meilleur rendement et des résultats de processus. Le système est conçu pour une métrologie optimale, avec son panneau de commande intégré permettant un fonctionnement manuel pour une flexibilité accrue. LAM RESEARCH 9400 DFM est un graveur polyvalent capable de traiter une grande variété d'exigences de gravure avancées pour des procédés de fabrication de haute précision. Cette unité dispose de fonctions avancées de contrôle des processus et de modules automatisés qui offrent une excellente productivité et des performances de qualité dans le traitement des semi-conducteurs. En outre, ses capacités de surveillance avancées assurent un contrôle supérieur des processus et donnent des résultats.