Occasion LAM RESEARCH 9400 SE #293799084 à vendre en France

LAM RESEARCH 9400 SE est un graveur/asher performant et économique idéal pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Avec sa technologie avancée de gravure sèche plasma et asher, il offre le plus haut rendement et le débit maximal de production pour le développement de produits avancés et l'optimisation des procédés. La technologie de pointe permet un contrôle précis des variables de processus, ce qui donne des performances de produit supérieures. Deux chambres distinctes sont incluses, l'une avec une bobine à induction à double fréquence et l'autre avec une bobine à fréquence radio à double fréquence, ainsi que les capacités de la technologie de recharge automatique. L'équipement intégré aide l'utilisateur à réduire les coûts globaux en offrant des paramètres de gravure précis, en raccourcissant le délai de commercialisation des produits complexes. Le grand écran tactile de 15 pouces à basse température offre une visibilité complète bord à bord et simplifie les enregistrements de données. LAM RESEARCH 9400SE offre une grande capacité de 15,6 litres avec un choix de trois chambres de gravure de taille différente - 6, 7 et 8 pouces. Cela permet des taux de gravure élevés dans les environnements de gravure à haute température. Le module intégré de détection in situ assure l'uniformité et la répétabilité des processus. La conception du système de gravure assure des vitesses de refroidissement exceptionnellement rapides et une résolution des fonctions de sous-microns. Cela permet de gagner du temps précieux et augmente la productivité. Il a également d'excellentes performances d'uniformité pour toutes les tailles de plaquettes et configurations de chambres. De plus, l'unité comprend un automate de suscepteur de plaquettes et deux mécanismes de transfert de plaquettes pour la manutention efficace de lots de plaquettes multiples. 9400 SE offre une grande flexibilité et précision de processus pour de nombreuses applications de gravure. Ces applications incluent la gravure à l'eau forte voient profondément DRC/sub-0.25µm, via les routes, les couches logiques de seuil et les couches diélectriques pour l'emballage avancé et les appareils de RF à haute fréquence. Il offre également des fonctionnalités avancées telles que le contrôle chimique amélioré, la gravure en plusieurs étapes, et l'intégration et le contrôle de processus avancés, le tout dans une seule unité. La conception de la machine permet d'optimiser l'évacuation de la chambre, réduisant le temps de gravure jusqu'à 50 % par rapport aux systèmes de gravure standard. 9400SE offre des parois de chambres en acier inoxydable résistantes à la corrosion, des conceptions flexibles de plaques de support et un alignement de précision des boucliers en quartz et des susceptors. Cela garantit un environnement de processus optimisé avec un minimum de temps d'arrêt et de coût de maintenance. Dans l'ensemble, la technologie de pointe de LAM RESEARCH 9400 SE etch/asher optimise les compromis de conception pour fournir le maximum de performance et de fiabilité pour les processus de fabrication de semi-conducteurs sensibles aux coûts et à rythme rapide. L'unité offre une productivité élevée, une fiabilité supérieure et des coûts de consommation faibles pour des économies maximales.