Occasion LAM RESEARCH 9400 SE #9226497 à vendre en France

LAM RESEARCH 9400 SE est un équipement de pointe conçu pour un large éventail d'applications de traitement des plaquettes. LAM RESEARCH 9400SE est une unité multi-chambres qui offre une maniabilité et une répétabilité supérieures pour des performances supérieures, ce qui en fait l'un des systèmes les plus fiables et polyvalents disponibles. Le noyau de 9400 SE est constitué par les graveurs de plaquettes, qui peuvent présenter diverses options, telles que le plasma inductif couplé (PIC), la planarisation chimique-mécanique (CMP) et la gravure ionique réactive (RIE). Les composants standard de 9400SE offrent des capacités de gravure et de cendrage efficaces et avancées sur des cycles alternatifs et uniques. Les principaux modules de gravure/ashing sont supportés par une variété de mécanismes qui garantissent une manipulation et une sécurité exceptionnelles des plaquettes. LAM RESEARCH 9400 SE dispose d'un module de mouvement des plaquettes à trois axes, qui permet des mouvements précis et reproductibles des plaquettes dans les axes X, Y et Θ. Le mouvement est piloté par des moteurs pas à pas à haute résolution et contrôlé précisément par un système de rétroaction en boucle fermée. L'unité est également équipée d'une serrure, permettant un chargement et un déchargement rapides des plaquettes. La pression interne de l'outil peut être ajustée en fonction des exigences d'application. LAM RESEARCH 9400SE est conçu avec un large éventail de caractéristiques de sécurité. Cela comprend un analyseur de gaz résiduel intégré qui surveille le processus de gravure/cueillette afin de minimiser la contamination et les dommages potentiels à la plaquette et à la chambre de traitement. L'actif est également équipé de systèmes automatisés de détection et de réparation des défaillances qui permettent de détecter et de réparer les défaillances en temps réel. Enfin, 9400 SE est conçu pour le fonctionnement en salle blanche, avec des matériaux avancés de blindage électrostatique qui assurent un environnement constant avec de faibles niveaux de rayonnement ionisant, EMF, et EMI. 9400SE répond aux exigences strictes de sécurité de tous les types de procédés de production de copeaux, offrant une gravure uniforme supérieure et une uniformité thermique au niveau des plaquettes. Grâce à ses caractéristiques avancées, sa répétabilité et son homogénéité élevées, ce modèle est idéal pour une large gamme de procédés de gravure de wafer. Avec des performances, une fiabilité et une sécurité supérieures, LAM RESEARCH 9400 SE est un outil puissant de traitement et de production de plaquettes.