Occasion LAM RESEARCH 9400 SE #9230784 à vendre en France
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LAM RESEARCH 9400 SE est un graveur/asher très avancé conçu pour la production de semi-conducteurs. Sa grande uniformité et précision, associées à son architecture modulaire, en font un outil idéal pour les applications de gravure critiques. LAM RESEARCH 9400SE dispose de deux chambres de processus indépendantes, configurées en platine parallèle, permettant le traitement simultané de plusieurs substrats de différentes tailles. Le plateau peut être réglé manuellement ou sous contrôle de programme pour optimiser l'uniformité de gravure sur l'ensemble du substrat. 9400 SE dispose également de la technologie exclusive TO- DELTA™ de LAM RESEARCH, permettant un contrôle automatique et dynamique du plasma pour améliorer l'uniformité de gravure, la planarité et le débit. Une interface utilisateur intuitive et des capacités intégrées de surveillance des processus assurent des gravures rapides et répétables. 9400SE utilise une technologie de faisceau d'ions focalisé de 20 microns (FIB) pour des applications de gravure critiques. En contrôlant les faisceaux d'ions et d'électrons, le profil de gravure et le taux de gravure peuvent être optimisés. L'unité FIB est également capable d'implanter différents ions dans le substrat au cours du processus de gravure. En outre, les multiples chambres de processus sont toutes équipées de capacités de spectrométrie de masse, permettant l'analyse des gaz de procédé tout au long du processus de gravure. LAM RESEARCH 9400 SE comprend également une capacité de nettoyage in situ, qui permet un enlèvement facile et rapide des débris. L'unité est également soutenue par une alimentation électrique fiable, assurant un fonctionnement sûr et cohérent de l'graveur/asher. La conception robuste de LAM RESEARCH 9400SE est encore améliorée par son système de refroidissement sophistiqué, avec une efficacité croissante en proportion directe du nombre de substrats traités. 9400 SE apporte l'innovation révolutionnaire dans le traitement des gravures à l'industrie des semi-conducteurs. Sa plate-forme modulaire supporte plusieurs applications de gravure offrant une solution commerciale rentable. La haute performance et l'efficacité sont des caractéristiques clés du système, permettant des résultats de gravure cohérents et reproductibles. Dans l'ensemble, 9400SE garantit les plus hauts niveaux de fiabilité, offrant un traitement de gravure fiable et répétable.
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