Occasion LAM RESEARCH 9400 #293762518 à vendre en France

LAM RESEARCH 9400 est un graveur et asher automatisé utilisé pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (MOCVD). Il est capable de traitement par lots ou monobloc à des températures allant de -20 ° C à 475 ° C La capacité de l'équipement à travailler à haute température permet le dépôt rapide et efficace de matériaux de haute qualité. La grande chambre de la machine permet le traitement des plaquettes jusqu'à 12 po de diamètre et jusqu'à 0,4 po d'épaisseur. 9400 est contrôlé par un système avancé convivial, avec un design ergonomique qui le rend facile à utiliser. L'unité est équipée de plusieurs dispositifs de sécurité tels qu'une machine de surveillance des gaz et une ventilation automatique. Il utilise une chambre de pompage collée à la diffusion, ce qui améliore les performances du procédé de gravure et de cueillette. LAM RESEARCH 9400 est également équipé de modules logiciels avancés pour automatiser les processus, optimiser les recettes et fournir des retours en temps réel. L'outil utilise une variété de mélanges chimiques de gravure et de cendrage, y compris les fluorocarbures, les halocarbures, les hydrocarbures, le soufre et les halogènes. Il est également capable de manipuler des processus aseptiques, permettant des tests rapides et la vérification de la qualité du produit. L'actif comprend deux ou trois modules de processus, selon l'application du client. Le premier module de procédé est l'graveur, et il est utilisé pour déposer les gaz de source, nettoyer la plaquette, et appliquer le processus de gravure et de cueillette désiré. Ensuite, le deuxième module de procédé est le cendrier, et il élimine tout résidu tout en facilitant l'élimination des contaminants de surface. Enfin, le troisième module est le transporteur, qui transporte et sécurise la plaquette déplaçant la plaquette entre les modules de processus. Le 9400 comporte plusieurs modes de fonctionnement, y compris la gravure et le cendrage dédiés, ainsi que la gravure/cendrage ou la gravure/compensation combinés. De plus, LAM RESEARCH 9400 comprend des systèmes de contrôle et de surveillance sophistiqués pour surveiller la température, la pression, le débit et d'autres paramètres de fonctionnement. Enfin, le modèle est autodiagnostic pour vous avertir de tout problème et erreur, fournissant une rétroaction précieuse dans un effort pour augmenter l'efficacité du processus et garantir les résultats de la plus haute qualité.