Occasion LAM RESEARCH 9400 #293814136 à vendre en France
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LAM RESEARCH 9400 est un équipement de graveur/asher très avancé qui permet une large gamme de processus de gravure et d'ashing avancés. Le système utilise une conception avancée de chambre en plaque biseautée avec une large gamme de technologies de gravure et de cendrage embarquées qui permettent des processus de gravure/cendres rapides et précis. L'unité est équipée d'un microbalances à cristaux de quartz (QCM) pour une excellente précision, des vitesses rapides, une uniformité et un rendement optimaux. La machine dispose d'un contrôleur PC sophistiqué pour un contrôle de travail rapide et fiable, avec une gamme de recettes de processus pour divers paramètres. L'outil est conçu pour traiter une gamme de tailles de 2 "à 200mm, avec jusqu'à 100 plaquettes à la fois. L'actif utilise une gamme d'accessoires avancés, tels que l'outillage de métrologie dédié, pour améliorer les résultats des processus. 9400 graveur/cendrier peut être utilisé pour effectuer une variété de processus de gravure/cendres, tels que la gravure sèche et la gravure directionnelle, permettant un taux de remplissage élevé et des trous de contact ainsi que des processus de traitement double côté. Le modèle est adapté pour une large gamme de matériaux de plaquettes et de masques, permettant une efficacité améliorée et un meilleur débit. Il est également très évolutif, ce qui permet à la fois de traiter les gravures/cendres de plaquettes par lots et par simple tranche, ce qui permet des solutions rentables. L'équipement peut être équipé de sources de gaz supplémentaires et de processus uniques en plusieurs étapes, permettant une fabrication optimale de dispositifs complexes. LAM RESEARCH 9400 est soutenu par le logiciel MARK 5500, une plate-forme logicielle puissante et intuitive qui, combinée avec le Job Manager basé sur PC, permet l'entrée rapide et facile des paramètres, l'optimisation et le contrôle des processus. Le logiciel intégré fournit également des recettes de gravure/cendres prédéfinies pour diverses applications, ainsi que l'accès à des bases de données avancées. Le système est en outre supporté par une gamme de fonctions de post-traitement, telles que la planarisation et la passivation d'oxyde, afin d'assurer une reproductibilité maximale du procédé. Dans l'ensemble, 9400 est une unité de graveur/asher avancée qui est conçue pour des applications de haute performance. La machine offre un procédé de gravure/cendres robuste et très précis, optimisé pour une gamme de substrats et d'applications. Avec son logiciel de support complet et ses outils de processus avancés, l'outil est un choix idéal pour les environnements de recherche et de production.
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