Occasion LAM RESEARCH 9400 #9006154 à vendre en France
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ID: 9006154
Spare parts:
Qty - Part No. Description
10 - 716-038612-002 DC PLUG (9100)
89 - 742-008991-001 GASKET EMI(RECT CROSS SECTION)(1PC=1FT)
1 - 853-330281-001 ASSY RF SENSE BOX UPPER MATCH
2 - 799-432042-204 END EFFECTOR
3 - 799-432042-204 END EFFECTOR
2 - 685-094897-001 20MTORR MANOMETER
3 - 685-094898-001 500MTORR MANOMETER
1 - 660-094652-003 ESC POWER SUPPEY
10 - 796-007305-002 SCREW EIFT PIN
39 - 728-094726-012 SCREW ESC EACLOSURE
3 - 685-095610-001 10TORR MANOMETER
2 - 605-092466-002 OPTIC FIBER
1 - 797-900918-001 HELIUM UPC 50SCCM MFC
2 - 754-092082-002 BALL BEARING VAT
1 - 796-098651-001 HIGH PERFORMANCE VAUUM GREASE10MG
1 - 660-093818-002 BIAS GEN 4.0 MAHZ 2-5KW
1 - 810-441976-002 ASSY PCB
1 - 866-360231-012 PENDULUM VALVE
3 - 605-094988-001 ASSY PCB LASER
1 - 853-492319-001 TM VME
1 - 715-330825-006 LNR,CHMBR,AL,EXTND,ALLI
6 - 715-330180-010 ELCTD,BOT,FXD GAP ESC,LOW TEMP
5 - 734-000663-001 O-RING 1-3/4 ID X 1/8 V
6 - 715-012244-001 SHIELD BELLOWS INNER GATE
6 - 734-009013-001 O-RING 3/4 ID X 1/16 C/S VITO
6 - 734-005633-001 O-RING 1 7/8 X 3/32
51 - 742-007760-001 GASKET,RF (WIRE OVER ELAST)(1PC=1FT)
34 - 734-007461-001 O-RING 5.25 X 5 7/16 X 3/32
6 - 839-330423-001 WLDMT,NUPRO,MANO,ISO
1 - 715-330092-002 COV NUT BOT GAS FEED
6 - 796-095768-001 SHLD,SPLINTER,1K TURBO PMP
5 - 842-093390-040 KIT,REBUILD,LP VLVL
6 - 839-012255-001 BELLOWS INNER GATE
5 - 739-090783-001 CONTACT STRIP COPPER
3 - 734-061280-237 O-RING,VIT 2-237
5 - 796-091775-001 MILLIPORE, WAFERGUARD 2
4 - 734-092561-212 O-RING .139 DIA C/S FSI
35 - 796-000233-002 SEAL CENT. RING ASSY NW40
13 - 796-000233-005 SEAL, NW 16, CENTERING RING
5 - 734-061280-175 O-RING,VIT,SER2
5 - 734-092561-241 O-RING .139 DIA C/S FSI
10 - 734-092561-260 O-RING .139 DIA C/S FSI
25 - 734-008793-002 O-RING PERFLUORO (GAUGE WALL)
1 - 666-440485-00 PROBE TC J TYPE 2.38 ESC
2 - N-5100-024 BELLOW O-RING
8 - 720-000960-014 SCREW, SHC, UNC-21 1/4-20SST
16 - 720-000942-010 SCREW FLT HD SST 8-32X 5/
2 - 714-011010-001 SCREEN WINDOW
8 - 720-000960-008 SCREW SOC HD SST1/4 20 X 1/
4 - 734-001849-200 EPD POINT O-RING (8.75IDX1/8C/S)
2 - 734-007460-200 VIEW PORT O-RING (7.00IDX2/32C/S)
1 - VT-P205315 S65 DN200 LOCKING SEAL
1 - VT-N5111-374 SO2 46*236 ACTUATOR SEAL
2 - 684-093409-001 CABLE FIBER
1 - 685-094250-001 LASER MODULE IMW
1 - 660-098076-002 ESC DC POWER SUPPLY
12 - 853-331019-001 ASSY,R WDO,QIK CLN,E9400/E9600
12 - 853-331021-001 ASSY,L WDO,QIK CLN,E9400/E9600
20 - 718-098592-001 LOCKING R, HARD ANODIZED
20 - 718-098591-001 PENDULUM PL,HARD ANODIZED
12 - 853-331025-001 ASSY,Q/C,TOP COV,E9400/E9600
4 - 9100 FTS CHILLER
1 - 853-034112-006 ASSY,CA,J-TAPE T/C#8 RING LUG
1 - 660-097567-001 UPS,420VA,120VAC,50/60HZ
3 - 678-460687-001 HEATER CAST WATROD SPECIAL
1 - 853-491746-100 ASSY,DC PWR SUP,PM,TCP OXD
15 - D002010069 VITON O-RING 2-120
2 - 799-550716-001 Fxtr threta home Mag7 Robot
2 - 713-240548-001 ELCTD PTCTR ESC
1 - 518-410240-001 Fixture ALIGN END EFFECTOR
2 - 799-550689-001 Fixture MTGMAG7 ARM
1 - 799-550690-001 CA RS232 MAG7
1 - 515-032639-001 Tool cylinder height Adjust
5 - 515-031765-001 Tool align 4 pin LFTR Bellows
3 - 515-432084-001 ALIGNMTOOL VCE4 ALLI
1 - 002-2082-01 Tool LIPSEAL REMOVAL
1 - 001-5998-01 ASSY Fixture E/R Band TE
6 - 678-097859-003 HTR,V,FAST ACTING,ANGLE,PM
5 - 678-098055-002 HTR,V,ISLN,ANGLE,LOPRO
1 - 716-011624-001 RING INSULATOR LOWER ELECTROD
4 - 853-031556-019 ASSY HEATER CARTRIDGE 75 WATT
1 - 853-031556-019 ASSY HEATER CARTRIDGE 75 WATT
6 - 714-4324-13 BELT TIMING 116 VROOVES
1 - 799-550693R001 RFRB ASSY PCB MCC2A VCE6
1 - 714-015698-001 PNL,FOUP BLANK-OFF,ATM
1 - 853-550012-001 ASSY, DUAL, ARMS, STD
1 - 810-017021-001 ASSY PCB LIFTER FILTER
1 - 644-096863-002 Relay ,SS,Dual ,25A
1 - 715-390129-001 PL,MTG,PENDULUM V
2 - 715-014556-013 GASKET DRILLED VCR .013DIA
1 - 715-390128-001 PL,MTG,ADPTR,PENDULUM V
1 - 839-360109-001 WLDMT,LINE,He,EVAC CHMBR(SE)
1 - 839-360162-001 WLDMT,LINE,He,EVAC AOV9
1 - 734-005637-001 O-RING 6.984 X.139
1 - 715-032012-004 PLATE WINDOW CHAMBER CAPTIVE HDW
1 - 797-900918-003 UPC,UNIT,8130,HOV,ENH FC
1 - 853-330632-016 ASSY HTR CRTG 55W 16"LG
2 - 853-330632-026 ASSY HTR CRTG 55W 26"LG
1 - 853-330632-039 ASSY HTR CRTG 55W 39"LG
1 - 799-550530-001 ASSY WFR ROTB MDL
1 - 739-550096-001 SEAL SFT ROB
1 - 955-028895-003 TBG POLYURETHANE IB 85DUR 3/4
1 - 839-100488-001 WLDMT,VLV, FLTR,VCE VNT, R
4 - 734-550499-001 O-RING,CASS CHMBR
1 - 810-017082-004 ASSY PCB 16 CHAN HTR CNTRL
1 - 853-370702-002 ASSY,HTR CRTG,55W
4 - 716-099277-001 INSUL PL CHAMBER TO VLV
3 - 739-007783-001 O-RING 12.475 ID X .275 CS
1 - 715-011617-002 RING RETAINING
1 - 715-550264-001 FXTR AGV ARM SETUP VCE-4
2 - 713-020033-001 FXTR LEVEING SINGLE AXIS AC
1 - 715-550122-001 TOOL INSNG WRIST BAND
2 - 524-004640-001 FXTR ROBOT HOME POS VTM SCARA
7 - 853-015982-001 ASSY MANUAL CONTROL BOX AUTOTU
1 - 685-491921-001 RMT CONT UNIT
4 - 853-015030-001 ASSY MANUAL CONTROL BOX AUTOTU
5 - 734-061280-279 O-RING VITON 12.984ID
5 - 734-061978-203 O-RING CHEMRAZ SERIES2,-203
5 - 842-092162-001 KIT REBUILD EDWARDS.
LAM RESEARCH 9400 Etcher/Asher est un équipement de pointe de gravure plasma/gravure ionique réactive (RIE) conçu pour répondre aux besoins de la fabrication de semi-conducteurs et de la production pharmaceutique. Ce système est basé sur un bras robotique multi-axes qui est utilisé pour déplacer la poudre et le liquide loin de la zone de travail et charger le substrat. Ce robot est également utilisé pour surveiller le processus de gravure et mettre les ressources dans la bonne position pour la gravure. L'unité comprend un certain nombre de composants de haute précision tels qu'une source de plasma continu, une source RF pour la génération de plasma, un réseau RF pour l'adaptation de la puissance et un porte-échantillon spécial. La source de courant continu fournit du plasma couplé inductivement pour la gravure ou l'ashing, et elle produit un éclatement plasma constant et stable qui est nécessaire à la gravure. La source RF fournit l'énergie nécessaire à la gravure, et le réseau d'adaptation RF optimise et ajuste la puissance RF au niveau requis. Le porte-échantillon spécial est conçu pour sécuriser le substrat lors de sa gravure et assurer l'uniformité du procédé. La machine est très automatisée et peut être programmée pour graver plusieurs substrats dans une rangée et sur différents programmes. Il est également capable de graver une grande variété de matériaux dont des plaquettes de silicium, du quartz monocristallin et du dioxyde de silicium. De plus, l'outil est capable de substrats d'une épaisseur maximale de 400 microns et d'une taille minimale de 1 5x1,5 mm. Avec sa grande précision, sa grande vitesse et sa fiabilité, 9400 Etcher/Asher est capable de traiter une variété de substrats avec la plus grande précision et précision. En outre, il s'est avéré être extrêmement fiable sur une longue période de temps et a des coûts de cycle de vie élevés. Sa conception unique permet un entretien facile et un faible coût de propriété. Cet atout est un choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs et la production pharmaceutique, fournissant aux utilisateurs les outils nécessaires pour obtenir d'excellents résultats de gravure.
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