Occasion LAM RESEARCH 9400 #9006154 à vendre en France

LAM RESEARCH 9400
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
9400
ID: 9006154
Spare parts: Qty - Part No. Description 10 - 716-038612-002 DC PLUG (9100) 89 - 742-008991-001 GASKET EMI(RECT CROSS SECTION)(1PC=1FT) 1 - 853-330281-001 ASSY RF SENSE BOX UPPER MATCH 2 - 799-432042-204 END EFFECTOR 3 - 799-432042-204 END EFFECTOR 2 - 685-094897-001 20MTORR MANOMETER 3 - 685-094898-001 500MTORR MANOMETER 1 - 660-094652-003 ESC POWER SUPPEY 10 - 796-007305-002 SCREW EIFT PIN 39 - 728-094726-012 SCREW ESC EACLOSURE 3 - 685-095610-001 10TORR MANOMETER 2 - 605-092466-002 OPTIC FIBER 1 - 797-900918-001 HELIUM UPC 50SCCM MFC 2 - 754-092082-002 BALL BEARING VAT 1 - 796-098651-001 HIGH PERFORMANCE VAUUM GREASE10MG 1 - 660-093818-002 BIAS GEN 4.0 MAHZ 2-5KW 1 - 810-441976-002 ASSY PCB 1 - 866-360231-012 PENDULUM VALVE 3 - 605-094988-001 ASSY PCB LASER 1 - 853-492319-001 TM VME 1 - 715-330825-006 LNR,CHMBR,AL,EXTND,ALLI 6 - 715-330180-010 ELCTD,BOT,FXD GAP ESC,LOW TEMP 5 - 734-000663-001 O-RING 1-3/4 ID X 1/8 V 6 - 715-012244-001 SHIELD BELLOWS INNER GATE 6 - 734-009013-001 O-RING 3/4 ID X 1/16 C/S VITO 6 - 734-005633-001 O-RING 1 7/8 X 3/32 51 - 742-007760-001 GASKET,RF (WIRE OVER ELAST)(1PC=1FT) 34 - 734-007461-001 O-RING 5.25 X 5 7/16 X 3/32 6 - 839-330423-001 WLDMT,NUPRO,MANO,ISO 1 - 715-330092-002 COV NUT BOT GAS FEED 6 - 796-095768-001 SHLD,SPLINTER,1K TURBO PMP 5 - 842-093390-040 KIT,REBUILD,LP VLVL 6 - 839-012255-001 BELLOWS INNER GATE 5 - 739-090783-001 CONTACT STRIP COPPER 3 - 734-061280-237 O-RING,VIT 2-237 5 - 796-091775-001 MILLIPORE, WAFERGUARD 2 4 - 734-092561-212 O-RING .139 DIA C/S FSI 35 - 796-000233-002 SEAL CENT. 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LAM RESEARCH 9400 Etcher/Asher est un équipement de pointe de gravure plasma/gravure ionique réactive (RIE) conçu pour répondre aux besoins de la fabrication de semi-conducteurs et de la production pharmaceutique. Ce système est basé sur un bras robotique multi-axes qui est utilisé pour déplacer la poudre et le liquide loin de la zone de travail et charger le substrat. Ce robot est également utilisé pour surveiller le processus de gravure et mettre les ressources dans la bonne position pour la gravure. L'unité comprend un certain nombre de composants de haute précision tels qu'une source de plasma continu, une source RF pour la génération de plasma, un réseau RF pour l'adaptation de la puissance et un porte-échantillon spécial. La source de courant continu fournit du plasma couplé inductivement pour la gravure ou l'ashing, et elle produit un éclatement plasma constant et stable qui est nécessaire à la gravure. La source RF fournit l'énergie nécessaire à la gravure, et le réseau d'adaptation RF optimise et ajuste la puissance RF au niveau requis. Le porte-échantillon spécial est conçu pour sécuriser le substrat lors de sa gravure et assurer l'uniformité du procédé. La machine est très automatisée et peut être programmée pour graver plusieurs substrats dans une rangée et sur différents programmes. Il est également capable de graver une grande variété de matériaux dont des plaquettes de silicium, du quartz monocristallin et du dioxyde de silicium. De plus, l'outil est capable de substrats d'une épaisseur maximale de 400 microns et d'une taille minimale de 1 5x1,5 mm. Avec sa grande précision, sa grande vitesse et sa fiabilité, 9400 Etcher/Asher est capable de traiter une variété de substrats avec la plus grande précision et précision. En outre, il s'est avéré être extrêmement fiable sur une longue période de temps et a des coûts de cycle de vie élevés. Sa conception unique permet un entretien facile et un faible coût de propriété. Cet atout est un choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs et la production pharmaceutique, fournissant aux utilisateurs les outils nécessaires pour obtenir d'excellents résultats de gravure.
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