Occasion LAM RESEARCH 9400 #9154664 à vendre en France
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Vendu
ID: 9154664
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8"
Loader: Auto loader
Option: Dummy port
Robot:
Single arm
Ceramic blade
Inner loadlock: Al arm
Outer loadlock: Al arm
HDD
Software: Classic
Generator top: AE, RFG 1250
Generator bottom: AE, RFG1250
Turbo pump: SEIKOSEIKI H1000L
Clamp type: ESC
Anodize type
Throttle V/V: ASS, 84021-R1
Gas box:
Cl2 / 200sccm / STEC / SEC7440 C2F6 / 200sccm / STEC / SEC7440
HBr / 200sccm / STEC / SEC4400
N2 / 10sccm / STEC / SEC7440 He / 200sccm / STEC / SEC7440 SF6 / 200sccm / STEC / SEC7440
O2 / 200sccm / STEC / SEC7440 O2 / 10sccm / STEC / SEC7440
AC Power rack: Chiller
TAITEC CH-800B
Dry pump: No
Currently warehoused.
LAM RESEARCH 9400 est un Etcher/Asher conçu et fabriqué par LAM RESEARCH Corporation. Il est utilisé pour graver des plaquettes de cendres dans l'industrie des semi-conducteurs. 9400 est un système entièrement automatisé qui comprend un certain nombre de modules et de composants individuels. Il supporte une large gamme de matériaux de substrat dont le silicium, le carbone, le cuivre et l'aluminium. Le système est disponible dans les configurations à chambre unique et multi-chambre pour améliorer le débit pour la production à grande échelle. Il peut également être personnalisé avec des capacités supplémentaires, telles que des bancs humides intégrés, pour répondre aux besoins spécifiques du client. LAM RESEARCH 9400 dispose d'un contrôleur de processus intégré pour gérer la hauteur et la température des plaquettes. Il utilise une variété d'espèces de gaz dans la gravure et le cendrage, comme l'argon et l'oxygène. Il peut fonctionner en mode monophasé ou multiphasé, selon les besoins du client. Il dispose d'une manutention automatisée des plaquettes et peut accueillir jusqu'à 5 plaquettes simultanément. 9400 est conçu à l'utilisation de cleanroom et est conçu pour rencontrer les normes ISO14001 les plus strictes. Il peut manipuler des particules d'une taille de 0,1 micron. En outre, il dispose de systèmes redondants de filtration et de purification des gaz pour minimiser la production de sous-produits et de particules. LAM RESEARCH 9400 est conçu pour une utilisation facile, avec une interface utilisateur graphique à écran tactile à commande intuitive. Il dispose également de protocoles définis par l'utilisateur et peut être programmé pour effectuer automatiquement des tâches de maintenance quotidienne. 9400 est un outil fiable et efficace pour la gravure et le traitement des cendres. Son système automatisé avancé permet d'assurer un rendement élevé et des plaquettes de qualité, avec des résultats de processus cohérents. Ses caractéristiques de sécurité intégrées assurent la sécurité de l'opérateur et du personnel dans la salle blanche.
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