Occasion LAM RESEARCH 9400 #9164962 à vendre en France

LAM RESEARCH 9400 est un graveur/asher à ultra-haut vide de pointe qui est utilisé pour la gravure de précision et l'ashing de composants critiques, tels que ceux utilisés dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. 9400 utilise des débits et des pressions précis et précis, combinés à un contrôle rigoureux de la température, pour effectuer un traitement précis avec une faible contamination des particules. Il fonctionne à la fois sur les substrats GaAs et Si par l'utilisation de configurations d'électrodes multiples, et est également adapté pour la gravure à sec sur tout type de substrat. LAM RESEARCH 9400 intègre une chambre de chargement entièrement métallique pour le porte-plaquettes, et une chambre de procédé pour la gravure et le cendrage, permettant le chargement et le déchargement rapides des substrats. La chambre principale est séparée de la chambre de serrure par une fenêtre en alliage perméable au champ, offrant une protection ultime contre la contamination. L'aspect procédé du système est manipulé par l'utilisation de deux jeux d'électrodes montés à l'intérieur de la chambre. Ceux-ci interviennent soit dans une configuration de jet de plasma droit, soit dans une configuration de jet de plasma modifié par RF canalisé, et servent à contrôler la vitesse de dépôt, permettant une gravure précise, et à éliminer la dérive au cours du procédé. 9400 est capable de produire les plus hauts niveaux de précision de traitement, avec des taux de gravure allant de 100 à 10 000 angstroms par seconde, et des rapports d'aspect jusqu'à 40:1. Il prend également en charge le plus haut niveau de contrôle post-traitement, avec une automatisation complète des recettes et la surveillance des processus de précision, ainsi que le contrôle et l'enregistrement des données. LAM RESEARCH 9400 dispose également d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, y compris l'arrêt automatique et la notification d'alarme des défauts, ainsi que d'un manuel et d'un verrouillage automatique de charge en option pour les changements de substrat. Au total, 9400 réunit les dernières technologies et les plus hauts niveaux de précision pour fournir un puissant graveur/asher pour les lignes de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à ses performances supérieures, les substrats les plus fins peuvent être traités avec la plus grande précision et fiabilité.