Occasion LAM RESEARCH 9400 #9225455 à vendre en France

LAM RESEARCH 9400 est un équipement de gravure et d'asher haute performance entièrement automatisé conçu pour la gravure et le nettoyage de haute précision des plaquettes semi-conductrices. 9400 permet des temps de processus très rapides et est idéal pour une production à haut débit. Le système est construit avec une chambre horizontale de grand volume et plaque de distribution de gaz de quartz qui permet une distribution de plasma uniforme sur la surface de la plaquette. LAM RESEARCH 9400 dispose également d'un réseau d'appariement RF avancé qui offre le rendement énergétique le plus élevé et assure une uniformité plasma optimale. 9400 est conçu pour minimiser le nombre de variables de processus et optimiser le débit de gravure pour les applications de gravure profonde et de transfert de motifs. Cette unité utilise également un mandrin électrostatique à commande de précision pour l'auto-étalonnage et le serrage précis des plaquettes. Sa technologie PCCP (Pulsed Capacitive Coupled Plasma) est dotée d'une machine de contrôle du débit de gaz actif à fréquence unique balayée pour fournir un processus de gravure stable et de haute uniformité sur un certain nombre de diamètres de plaquettes. De plus, LAM RESEARCH 9400 utilise la surveillance in situ et le contrôle de la puissance d'entrée en deux étapes pour assurer le contrôle et la répétabilité des processus en temps réel. L'outil fournit des taux de gravure plasma extraordinairement élevés, uniformité et répétabilité pour les processus de gravure critiques. Ses stratégies avancées de surveillance et de contrôle de la boucle de commande assurent une uniformité précise du profil pendant la gravure, même pour la fenêtre de processus la plus exigeante. L'actif est également très évolutif pour répondre à la plus large gamme d'applications de gravure, des petits emplois de recherche et développement aux procédés de production par lots. Dans l'ensemble, 9400 est un modèle de graveur/asher de pointe avec des fonctionnalités et des capacités avancées qui permettent aux fabricants d'obtenir un débit plus rapide, des produits de meilleure qualité et un meilleur rapport coût-efficacité. Avec ses systèmes de contrôle avancés, sa surveillance in situ et son mandrin électrostatique contrôlé avec précision, LAM RESEARCH 9400 est un excellent équipement pour tous les besoins de gravure et de nettoyage des semi-conducteurs.