Occasion LAM RESEARCH 9400 #9250095 à vendre en France

LAM RESEARCH 9400
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
9400
ID: 9250095
Taille de la plaquette: 6"
Trench etcher, 6".
LAM RESEARCH 9400 est un graveur/asher à plasma avancé conçu pour effectuer des processus de gravure et de dépôt de haute précision. C'est un équipement de pointe qui supporte plusieurs modes de gravure, permettant une gravure de haute précision avec une grande sélectivité et uniformité. Il est exceptionnellement polyvalent, avec de nombreuses configurations matérielles et logicielles pour répondre aux exigences spécifiques de gravure des projets individuels. 9400 dispose d'un système de contrôle hautement intégré, fournissant une interface conviviale qui simplifie la configuration et le fonctionnement du processus de gravure. L'unité est livrée avec une chambre de verrouillage de charge qui permet à l'utilisateur de charger et décharger facilement les plaquettes, et un support de substrat tournant qui permet un mouvement multidirectionnel de la plaquette. La combinaison du réglage de hauteur motorisé et du contrôle de la recette de gravure entièrement programmable avec le contrôle du mouvement de l'interféromètre laser donne à l'utilisateur un contrôle précis des performances de gravure. La surveillance et le contrôle des processus sont rendus possibles grâce à une multitude de capteurs de processus dédiés intégrés directement dans la machine. Ces capteurs mesurent des variables telles que la puissance RF, la pression de la chambre de processus et la température de la plaquette. Ils aident à assurer une performance de gravure cohérente en fournissant des commentaires sur les paramètres du processus et en avertissant l'utilisateur de toute anomalie indésirable liée au gaz ou à la pression. LAM RESEARCH 9400 dispose également de capteurs avancés pour détecter la contamination à l'intérieur de l'outil. Ces capteurs utilisent des algorithmes complexes pour détecter les dépôts potentiels de matériaux et l'accumulation corrosive, fournissant aux utilisateurs des données en temps réel sur l'environnement du processus et leur permettant de traiter rapidement les problèmes potentiels. Dans l'ensemble, 9400 est un excellent outil de gravure de précision avancée (en particulier des matériaux comme III-V, HfO2, et SiO2). Il dispose d'un outil de contrôle robuste et intégré, de fonctions de surveillance et de contrôle avancées, et d'une chambre de verrouillage de charge qui facilite le chargement et le déchargement des plaquettes. Avec la durabilité et la longueur du processus de gravure que permet ce modèle, les utilisateurs peuvent être sûrs que leurs projets sont entre de bonnes mains.
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