Occasion LAM RESEARCH 9500 #9399062 à vendre en France

LAM RESEARCH 9500
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
9500
ID: 9399062
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH 9500 est un équipement avancé de graveur ou d'asher qui utilise un procédé de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) pour graver et déposer des films. Ce système est très capable de générer des films avancés à haut débit, ce qui le rend idéal pour des besoins de production à haut volume. 9500 PECVD offre une large gamme de températures de fonctionnement allant de la température ambiante à des températures élevées allant jusqu'à 500 ° C Il a également une excellente uniformité de procédé, fournissant la capacité de niveaux d'épaisseur de film cohérents avec des taux de dépôt uniformes. Cette machine offre des procédés de dépôt à haut débit, permettant le dépôt de films à débit rapide. La chambre de LAM RESEARCH 9500 est construite en double zone, ce qui permet à l'opérateur de contrôler les processus de gravure et de dépôt de façon indépendante. Il est également équipé de deux sources de plasma, un CER basse fréquence (Electron Cyclotron Resonance) et un RF haute fréquence (Radio-Frequency). Les sources à double plasma offrent plus de puissance de gravure, ce qui permet de graver et de déposer des films à des cadences plus élevées. L'outil PECVD 9500 fournit également une large compatibilité de substrat, permettant le fonctionnement sur une variété de surfaces de substrat telles que l'aluminium, le verre, la céramique et les plaquettes de silicium. En outre, le module de fonction offre un large éventail de fonctionnalités, y compris un débit de plaquettes élevé, une fonction pilote automatique pour un fonctionnement facile, et un verrouillage de niveau de sécurité permettant uniquement aux utilisateurs authentifiés filtrés d'accéder aux fonctions d'actifs. Pour assurer la sécurité, LAM RESEARCH 9500 est conçu avec un contrôleur multi-processeur avec plusieurs couches de protection. Il dispose également d'une chambre à vide isolée, empêchant la possibilité de fuites de produits chimiques dangereux en dehors du modèle. En outre, l'équipement dispose d'un niveau de pression et d'un contrôle de température rigoureux pour des performances optimales et pour réduire les risques de dommages et de contamination. Dans l'ensemble, 9500 est un système de graveur/asher avancé avec une conception à double zone et des sources de plasma double, ce qui le rend idéal pour les besoins de production à haut volume. Avec son module de fonctionnement emballé et ses protocoles de sécurité rigoureux, cette unité est un excellent choix pour la gravure et le dépôt de films à débit rapide.
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