Occasion LAM RESEARCH 9600 FEFG #9183635 à vendre en France
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ID: 9183635
Style Vintage: 1998
Metal etcher
Software version: Version E1.5
CIM: Ok
Main chamber:
(1) Turbo pump 1000 litre with controller
(1) E-chuck
(1) TCP RF Match
(1) Bias RF match
(2) RF Generators
(1) CL2 MFC: 180 sccm
(1) BCL3 MFC: 50 sccm
(1) SF6 MFC: 200 sccm
(1) N2 MFC: 100 sccm
(1) O2 MFC: 250 sccm
(1) Ar MFC: 100 sccm
(1) He UPC: 50 sccm
Strip chamber:
(1) DSQ RF Match
(1) Heater paddle
(1) RF Generator
(1) Auto WVDS controller
(1) O2 MFC: 2000 sccm
(1) N2 MFC: 300 sccm
(1) H2O MFC With controller: 500 sccm
Rinse / Dry:
(1) Spin dryer with vacuum chuck
Transport:
(2) Integrated SMIF
(1) Wafer notch aligner with spatula
(2) Harmonic arm drive assemblies
Currently warehoused
1998 vintage.
LAM RESEARCH 9600 FEFG est un graveur très avancé, qui est conçu pour la production de plaquettes et d'écrans plats. C'est un excellent choix pour une production à haut volume et dispose d'une large gamme de caractéristiques qui en font une solution idéale pour toute ligne de production. 9600 FEFG est un graveur de haute précision, offrant une gravure précise d'une grande variété de matériaux, y compris les métaux, les semi-conducteurs et les verres. L'outil est également capable de gravure sélective avec des profondeurs variables et des formes très spécifiques. L'outil est également conçu pour fournir une programmabilité robuste et un débit élevé pour une productivité optimale. La caractéristique clé de LAM RESEARCH 9600 FEFG est son équipement intégré de commande de mouvement. Ce système assure un fonctionnement continu, sans défaut et des performances supérieures, assurant un contrôle directionnel et positionnel précis de la gravure. L'unité de contrôle de mouvement offre également une programmabilité améliorée, permettant des opérations optimisées et un débit accru. De plus, l'optique avancée de l'outil, couplée au laser intégré, garantit une gravure précise et uniforme des lignes de gravure. Le laser peut être configuré pour graver dans différents motifs, selon l'application. Le laser fournit également une image très détaillée de l'endroit où la ligne est gravée, permettant la mesure précise des profondeurs et l'identification précise des intervalles de fines lignes. En termes de sécurité, 9600 FEFG offre des mesures de protection avancées, y compris la fonctionnalité d'arrêt d'urgence et le verrouillage de la machine de commande de mouvement. Cela garantit que l'outil peut être actionné en toute sécurité et sans risque excessif. En outre, l'outil dispose d'une interface tactile très intuitive qui permet le contrôle facile et sans faille de l'graveur. L'interface affiche également une représentation visuelle détaillée du processus de gravure, permettant aux opérateurs de corréler l'image visuelle avec le profil de gravure. LAM RESEARCH 9600 FEFG est un outil puissant et fiable qui convient bien à la production de plaquettes et d'écrans plats. Il offre un contrôle de précision, une programmabilité facile, des fonctionnalités de sécurité robustes et une interface hautement intuitive. Cela fait de 9600 FEFG un excellent choix pour n'importe quelle ligne de production.
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