Occasion LAM RESEARCH 9600 #199858 à vendre en France
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Vendu
ID: 199858
Taille de la plaquette: 8"
TCP metal etch system, 8"
Can be converted to 6"
Mounting: bulkhead
Software: Envision 1.52
Indexers: HINE
AC box: -001
Gas box: orbital welded
Clamping: ESC
Backside helium: closed loop
Generator: 3 RFG 1250
RF match: upper TCP, lower mini match, DSQ match
Turbo: SEKO SEKI 1000L
Turbo controller SEKI SEKI STP
VAT gate: VAT 65
VAT controller: PM-7
Endpoint: dual endpoint 703nm and 520nm
DSQ: hinged
WVDS: auto fill
APM: standard
MFCs: unit 1660
Gas config:
Gas 1: CL2 200
Gas 2: BCL3 100
Gas 3: SF6 100
Gas 4: N2 50
Gas 5: N2 1000
Gas 6: Ar 1000
Gas 7: O2 1000
Gas 8: CF4 200
Gas 9: H20 500.
LAM RESEARCH 9600 est un équipement de graveur/asher haute performance conçu pour fournir des performances et une fiabilité supérieures dans une variété d'applications industrielles de fabrication. Le système dispose d'une capacité intégrée de 1 ou 2 gaz et d'un contrôle de température avancé, permettant aux utilisateurs de graver avec précision les matériaux ou les cendres au niveau précis désiré. Ceci peut être avantageux pour des applications de précision telles que le dépôt de couches minces, la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, le conditionnement de couches minces et la fabrication de photomasques. 9600 dispose également de faibles niveaux de bruit, d'un contrôleur numérique basé sur une fenêtre, et de diagnostics embarqués, ce qui le rend idéal pour les processus de fabrication automatisés. L'interface utilisateur facile à utiliser permet aux utilisateurs d'accéder facilement aux paramètres et de faire des ajustements à la volée avec un simple toucher du doigt. L'unité dispose également de sources de plasma RF haute performance, permettant aux utilisateurs d'obtenir des taux de gravure et une uniformité supérieurs. LAM RESEARCH 9600 dispose également de systèmes de contrôle avancés, y compris des capteurs de température et des contrôleurs d'uniformité de processus, permettant aux utilisateurs d'ajuster facilement les paramètres de processus et de suivre avec précision leur progression. Sa machine intelligente de distribution de gaz permet d'atteindre des niveaux plus élevés d'uniformité et de cohérence des processus. Les autres caractéristiques comprennent une ligne universelle pour des vitesses de gravure et une uniformité précises, une alimentation et un contrôleur avancés, une construction modulaire pour faciliter l'entretien, un démarreur de gaz à bouton poussoir, un débit et un rendement plus élevés et une gestion de flotte LAM RESEARCH en option. Pour se protéger contre une éventuelle contamination, 9600 dispose d'un échappement de recirculation entièrement automatique à haut rendement, qui aide à capter les particules et à les empêcher d'entrer dans la chambre de gravure. Cela permet d'assurer des résultats de gravure de qualité et cohérents. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 9600 est un graveur/asher efficace, fiable et performant, parfait pour les applications industrielles de fabrication. Grâce à ses fonctionnalités et capacités avancées, il garantit des performances et une fiabilité supérieures, aidant les entreprises à accroître leur productivité et leur efficacité.
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