Occasion LAM RESEARCH 9600 #293822608 à vendre en France

LAM RESEARCH 9600 est un graveur/asher de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma conçu pour produire des gravures et des cendres de haute qualité et à haut débit de petits et de grands substrats. Ce graveur/asher avancé est conçu pour traiter une grande variété de matériaux et de procédés de substrat avec une répétabilité améliorée des processus. 9600 est conçu avec une conception uniforme brevetée pour assurer une répartition uniforme des gaz sur toute la surface de la plaquette. Il dispose également d'un système de distribution de gaz double face qui fournit plus de précision et de contrôle sur les processus de gravure et de cueillette. Cette technologie à double découplage permet de contrôler la profondeur, la vitesse et la sélectivité des gravures plus rapidement que les systèmes à simple extrémité. LAM RESEARCH 9600 a également un rapport de densité de puissance wafer/moyenne plus élevé pour une disponibilité et une consommation d'énergie plus faibles, ainsi qu'un débit plus élevé. 9600 est conçu avec l'ajout d'une source de plasma à distance pour permettre le processus de gravure sur une variété de paramètres de processus flexibles. La source de plasma à distance est intégrée dans le graveur/asher, ce qui permet aux utilisateurs d'ajuster les paramètres du processus en temps réel. Ces paramètres de processus comprennent les taux de gravure, la sélectivité, et surgravure/sous-coupe. L'intégration permet également des temps de cycle plus rapides en éliminant le besoin d'une source supplémentaire de plasma. LAM RESEARCH 9600 est équipé d'un positionneur moteur multi-zones pour une commande précise du mouvement et une répétabilité. Ceci assure un déplacement uniforme de la plaquette pour chaque cycle gravure/cendres. Le positionneur assure également la commande de mouvement pour d'autres aspects du cycle de traitement, y compris les mouvements de la vanne et de l'obturateur. 9600 est conçu avec un système intégré de suivi et de diagnostic des processus pour fournir une rétroaction en temps réel sur la performance des processus. Cette rétroaction est ensuite utilisée pour garantir des résultats optimaux et minimiser les temps d'arrêt de l'équipement. L'outil intégré comporte également une variété de fonctionnalités telles que l'enregistrement des événements et la détection des erreurs. LAM RESEARCH 9600 est conçu avec une gamme de composants périphériques en option, tels que des serrures de chargement et des distributeurs de gaz réfrigéré. Ces composants permettent aux utilisateurs de personnaliser davantage le processus et d'améliorer la performance du processus. Les autres caractéristiques du graveur/asher comprennent un système anti-adhérence, un temps d'ouverture rapide et une large gamme de températures de processus. Dans l'ensemble, 9600 est un graveur/asher avancé conçu pour fournir une qualité supérieure avec une répétabilité améliorée des processus. Il est construit avec des composants et des fonctionnalités haute performance, ainsi qu'une gamme de périphériques optionnels et des capacités avancées de surveillance des processus, pour offrir aux utilisateurs avec des performances de gravure et de cendrage exceptionnelles.