Occasion LAM RESEARCH 9600 #9191115 à vendre en France

LAM RESEARCH 9600 est un graveur-asher qui est utilisé pour graver des couches de matériau conducteur à la surface de substrats semi-conducteurs. Le dispositif est capable de graver des couches de matériau d'une épaisseur maximale de 300 angströms. 9600 est un équipement fiable et robuste qui offre une grande précision et répétabilité. LAM RESEARCH 9600 est équipé d'une source de plasma à couplage inductif pulsé, qui a un sous-produit gazeux d'argon et d'oxygène pour permettre la gravure des couches d'oxyde de silicium et de silicium polycristallin. Ce dispositif comprend une commande de processus à distance avec interface utilisateur graphique pour permettre un fonctionnement facile, ainsi qu'un système de suivi et de diagnostic en temps réel pour fournir un soutien en ligne. En outre, 9600 dispose d'un mandrin électrostatique pour améliorer la fiabilité et la précision en éliminant les particules et autres contaminants pendant le processus de gravure. Il dispose également d'un circuit de masse indépendant qui est utilisé pour réduire l'effet du bruit électrique externe, permettant une gravure précise des couches présentant des caractéristiques sensibles. LAM RESEARCH 9600 comprend une unité à double plateau dont la taille maximale du substrat est de 300 mm x 300 mm. Le cendrier offre un équilibre thermique complet avec une température maximale du substrat de 40 ° C Il offre également un traitement à profil passe unique avec une variation de température de substrat à substrat faible ± 2 ° C 9600 est conçu pour fonctionner dans un environnement de salle blanche et nécessite une puissance électrique de 208V AC (12kVA) et une connexion au gaz de purge pour le piédestal inférieur. L'installation de la machine est facile car elle ne nécessite qu'un nivellement, et les étages de robot (Vertical et Horizontal Robot) doivent être calibrés. Il est important de nettoyer périodiquement les chambres et les supports de substrat, y compris le socle inférieur et les sorties. Ceci garantit que les particules de poussières produites lors de la gravure ne dégradent pas la qualité du substrat et provoquent des défauts inacceptables dans les couches produites. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 9600 est un graveur/asher fiable et polyvalent adapté à la gravure de couches d'une épaisseur pouvant atteindre 300 angströms. Ce dispositif dispose d'un niveau de précision impressionnant, d'une interface graphique facile à utiliser et d'un outil à double plateau pouvant accueillir des substrats pouvant atteindre 300 mm x 300 mm. 9600 est idéal pour les environnements de salle blanche, et le bon nettoyage des chambres et des supports de substrat doit être fait régulièrement pour assurer des résultats optimaux.