Occasion LAM RESEARCH 9600 #9204380 à vendre en France

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LAM RESEARCH 9600
Vendu
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
9600
ID: 9204380
Taille de la plaquette: 4"-6"
Style Vintage: 1999
Metal etcher, 4"-6" Mechanical clamp Included chambers: DSQ: Resist strip and passivation APM: Atmospheric passivation module Metal etch chamber (Dry etch) Includes: Upper and lower etch match Gases used: CL2 / BCL3 / Others Missing parts: MFC Solenoid ADIO Card Ceramics 1999 vintage.
LAM RESEARCH 9600 est un graveur/asher conçu pour traiter les plaquettes et les substrats avec des matériaux spécialisés. Cette machine peut être personnalisée pour adapter une application à différentes exigences de processus. Il est produit par LAM RESEARCH, un fournisseur mondial d'applications de procédés qui innovent, simplifient et optimisent la production de circuits intégrés à semi-conducteurs. 9600 offre flexibilité, performances de pointe et faibles coûts de traitement. Il s'agit d'un système multi-chambres qui permet d'effectuer différentes étapes de traitement dans chaque chambre. Cela permet de réaliser un large éventail de procédés et rend la machine très polyvalente. LAM RESEARCH 9600 offre également un débit et une uniformité élevés, avec une température de fonctionnement très basse, réduisant la contamination des particules et augmentant les rendements des produits. 9600 possède un couvercle source, une table de substrat, une chambre de procédé variable et des systèmes d'échappement. Le couvercle source comprend une plaque de grille et des mécanismes d'obturation, pour le chargement et le déchargement efficaces des substrats. La table de substrat est conçue pour la stabilité et la répétabilité, et peut comporter plusieurs chambres de processus. La chambre de traitement variable est conçue pour permettre à l'utilisateur d'ajuster les conditions de traitement à partir du contrôleur. Il dispose d'un ascenseur motorisé et dispose d'une porte vers la chambre de chargement et de déchargement des substrats. Le système d'échappement est conçu pour pomper et nettoyer efficacement les effluents, y compris le fluor et le chlore. LAM RESEARCH 9600 peut être personnalisé pour traiter des substrats d'une taille de 3 pouces à une taille de 8 pouces, avec une capacité allant jusqu'à 24 substrats. C'est un système automatisé, avec des mécanismes de bras de robot, des robots doubles et le tri de substrat. 9600 dispose d'une interface pilotée par ordinateur qui permet de surveiller l'état du module, d'éditer et d'ajuster la recette de processus et de tracer divers paramètres de graphe de processus. Il comprend également des capacités de traitement du carbure de silicium, du quartz et de l'alumine. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 9600 est un graveur/asher de haute qualité qui fournit une solution économique pour les processus qui nécessitent des environnements précis et contrôlés. Il est hautement automatisé et sa capacité à adapter les conditions de traitement en fait un choix idéal pour de nombreuses applications.
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