Occasion LAM RESEARCH 9600 #9233030 à vendre en France

Le LAM LAM RESEARCH 9600 est un graveur/asher qui offre le maximum de flexibilité et de performance pour la technologie de traitement avancée. Cet équipement est idéal pour des applications allant de la fabrication de plaquettes au développement de produits d'entraînement de disque. C'est un graveur/asher intégré qui utilise une chambre de processus modulaire à double faisceau pour permettre un traitement fiable et efficace de n'importe quel motif. Le LAM 9600 est doté d'une chambre de procédé de pointe qui offre une profondeur de gravure uniforme et une manipulation précise des matériaux, ce qui permet aux utilisateurs de graver ou d'asher n'importe quel substrat. Cette chambre très avancée permet un contrôle maximal du processus et une flexibilité globale du système. Le module de procédé LAM LAM RESEARCH 9600 a intégré des procédés avancés tels que le plasma à couplage inductif (PIC), la gravure ionique réactive (RIE) et la gravure électrochimique (ECE). Ces procédés permettent une gravure des plaquettes de haute qualité avec une faible contamination et une meilleure stabilité du procédé. La chambre de réaction diélectrique intégrée assure un contrôle de la puissance du plasma et des profondeurs de gravure uniformes, et elle est adaptée à diverses tâches de gravure et de cueillette. 9600 est équipé d'une unité pas-à-pas pour la commande rapide de sortie RF. Son logiciel comprend plusieurs paramètres de contrôle des sources, un contrôle dynamique automatisé des gaz en temps réel, un contrôle de température virtuel de haute précision et une machine de cartographie sophistiquée de contrôle des processus. En combinant ces caractéristiques, l'outil offre des performances de gravure à la fois précises et répétables. En outre, l'actif offre des capacités de diagnostic optique et acoustique. Le modèle optique intégré assure une surveillance continue du processus de gravure et de cueillette, tandis que l'équipement acoustique fournit des tests non destructifs du motif de gravure pour détecter les défauts ou les faiblesses. Le LAM LAM RESEARCH 9600 peut être configuré pour diverses applications, y compris la gravure d'oxydes métalliques, la gravure à haut rapport d'aspect et la fabrication de lignes métalliques. Le système peut traiter une variété de substrats qui comprennent du silicium cristallin, des matériaux en couches minces et des points quantiques. L'unité est également disponible avec un certain nombre de paquets optionnels, tels qu'une source d'ions et une machine de traitement automatique d'échantillons optionnelle. Avec sa chambre de processus flexible, son outil de contrôle complet et ses capacités diagnostiques avancées, le LAM 9600 est une solution complète et rentable pour les applications avancées de gravure/ashing. Il offre un contrôle maximal des procédés, des profondeurs de gravure uniformes et une manipulation fiable des matériaux pour assurer un traitement performant et rentable.