Occasion LAM RESEARCH 9600 #9242599 à vendre en France

LAM RESEARCH 9600 est une plate-forme avancée pour la gravure et l'ashing des plaquettes semi-conductrices. Cet équipement se compose d'une serrure de charge, d'une chambre de traitement et d'un système d'échappement, et fournit des outils et une précision inégalés. La serrure de charge est une chambre scellée sous vide qui permet de charger les plaquettes semi-conductrices en toute sécurité et sans contaminant. Un mécanisme robot est utilisé pour déplacer les plaquettes de la serrure de charge à la chambre de processus. Le mécanisme robot utilise des principes mécaniques avancés pour assurer une bonne manipulation des plaquettes, la sécurité et la précision. La serrure de chargement peut être configurée pour une variété de transports, en fonction du type de plaquette en cours de traitement. La chambre de procédé est un environnement très spécifique à l'application. C'est là que le processus de gravure ou de cendres est effectué en fonction des exigences spécifiques de l'application. La chambre est conçue et construite pour la précision, la précision et la répétabilité, permettant des résultats fiables et reproductibles pour chaque plaquette gravée ou cendrée. L'unité d'échappement est utilisée pour évacuer les matières usagées et produire des conditions de processus uniformes. La machine d'échappement utilise une combinaison de gravure chimique, d'adsorption, de filtration et de gaz pour éliminer les particules et d'autres types de contaminants de l'outil. Le séparateur cyclonique est généralement utilisé pour recueillir et éliminer les particules. 9600 est un atout remarquable de gravure et de cueillette. Il est conçu pour fournir des processus cohérents et exacts. Sa combinaison sophistiquée de composants, de serrure de charge, de chambre de processus et de modèle d'échappement permet une précision accrue, des économies et des performances robustes. Cela fait de LAM RESEARCH 9600 un choix exceptionnel et fiable pour la gravure semi-conductrice et les plaquettes ashing.