Occasion LAM RESEARCH 9600 #9243611 à vendre en France

LAM RESEARCH 9600 est un équipement graveur/asher de haute précision conçu pour la gravure, la passivation et le nettoyage de plaquettes et substrats semi-conducteurs dans la fabrication de circuits intégrés. Ce système est équipé d'un large éventail de fonctionnalités qui permettent des opérations précises de traitement des matériaux d'une précision fondamentale exceptionnelle, y compris la prise en charge de processus multiétages et de systèmes logiciels optimisés pour l'analyse et la traçabilité des données au niveau des plaquettes. 9600 peut traiter substrates de jusqu'à 6 pouces (jusqu'à 1,5 μm épais) avec la résolution dans la structure dramatique et repeatability. Une unité intégrée de commande et de distribution de gaz régulée par microprocesseur permet un contrôle précis des paramètres de la machine et une livraison chimique précise. Cet outil offre des capacités inégalées en matière de livraison chimique précise, d'opérations de masquage précises et d'analyse de données au niveau des plaquettes. LAM RESEARCH 9600 est conçu pour les applications de traitement des matériaux semi-conducteurs les plus avancées sur le plan technologique. Il permet une livraison automatisée de produits chimiques, un contrôle précis et répétable de la température, une température chimique précise et contrôlée, des pressions de gaz précises et contrôlées et une puissance de sortie précise et contrôlée. Cet atout etcher/asher est équipé d'un certain nombre de caractéristiques uniques, dont un modèle ultra-haute précision de livraison de gaz à double tête, un équipement d'alignement automatique très précis, et une variété de recettes brevetées et avancées de gravure, de passivation et de nettoyage développées spécifiquement pour 9600. Afin de fournir des résultats précis et reproductibles, LAM RESEARCH 9600 intègre un système d'exploitation sophistiqué et intégré contrôlé par microprocesseur, qui s'adapte automatiquement à diverses recettes et conditions de processus. L'unité interne de contrôle du débit de gaz et la machine de dosage de haute précision se combinent pour assurer un contrôle précis des opérations de gravure, de passivation et de nettoyage. 9600 fournit également des systèmes logiciels avancés pour l'enregistrement des données et l'analyse avancée des données de qualité. Cet outil est optimisé pour l'auto-alignement, le suivi et le contrôle de qualité avancé de la lithographie de substrat. En plus des fonctionnalités hors-la-boîte, LAM RESEARCH 9600 offre également des options d'installation personnalisées et des paquets de maintenance avancés, y compris des capacités de contrôle de processus et d'analyse de données en temps réel. 9600 est une solution fiable, polyvalente et économique pour les opérations avancées de traitement des matériaux. Sa combinaison de livraison de gaz de haute précision et de systèmes logiciels avancés fournit un atout très fiable qui est capable de fournir des résultats fiables et reproductibles dans un large éventail de conditions de processus.