Occasion LAM RESEARCH 9600 #9399061 à vendre en France

LAM RESEARCH 9600
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
9600
ID: 9399061
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH 9600 est un lot de haute qualité, multi-chambres, Etcher dimensionnel/Asher spécialement conçu pour les applications de production. C'est l'un des graveurs/cendres les plus avancés disponibles, offrant une flexibilité et une capacité de traitement étendues grâce à ses multiples chambres de traitement, qui peuvent être configurées pour répondre aux besoins des processus individuels. L'équipement utilise une gravure chimique à haut rendement, améliorée par plasma (PECVD) pour graver ou asher sélectivement un large éventail de matériaux. 9600 permet la gravure précise et à haut débit des interconnexions multicouches, des composants semi-conducteurs et d'autres substrats structurés jusqu'à des dimensions inférieures aux microns. La flexibilité de configuration de la chambre du système offre une capacité de traitement et une flexibilité maximales, permettant le traitement parallèle de plusieurs plaquettes et l'empilement et le chargement optionnels de plusieurs cassettes. La gravure chimique précise et ajustable de LAM RESEARCH 9600 permet d'augmenter les rendements et l'efficacité de la fabrication des plaquettes. Il est équipé de la technologie de gravure la plus récente et la plus avancée, comme les systèmes de source et de chargement sélectionnables, y compris le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma, le dépôt chimique en phase vapeur et la gravure ionique réactive ; régulateurs de température, de pression et de débit chimique ; et une unité de régulation avancée du débit et des gaz d'échappement, afin d'améliorer la sécurité et l'entretien. 9600 dispose également d'une machine de contrôle avancée qui fournit l'enregistrement des paramètres du processus et des erreurs, un outil de positionnement et de surveillance des plaquettes, une surveillance entièrement automatisée du point final et des recettes de processus flexibles définies par l'utilisateur. Son interface utilisateur graphique intuitive (UI) offre une expérience utilisateur simple, améliorée et l'interface du fabricant. LAM RESEARCH 9600 est conçu pour répondre au calendrier rigoureux et rapide des applications de production. Il offre des conditions de température, de pression et de chambre de processus 100 % propres, ainsi que des retours de contrôle de processus en temps réel et une lecture de rétroaction. Il est configuré comme une machine de traitement par lots, permettant un traitement rapide de jusqu'à 200 wafers par heure, avec des recettes de processus définies par l'opérateur et des paramètres d'automatisation. 9600 est conçu avec un actif opérationnel très robuste qui nécessite un minimum d'entretien, et est convivial, avec un ajustement sûr et facile à la volée. Le modèle répond à des normes d'EDD rigoureuses et s'assure que toutes les plaquettes sont exemptes de contaminants en utilisant une chambre d'échappement et de température 100 % propre, des joints de chambre de processus et d'autres dispositifs de sécurité. Il est équipé d'un équipement de surveillance des processus en temps réel et d'un système d'alarme au point d'extrémité pour améliorer le contrôle des processus.
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