Occasion LAM RESEARCH A4 9400 PTX #9224718 à vendre en France
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Vendu
ID: 9224718
Process module
Includes:
VAT 65 Gate valve with controller
ADIXEN / ALCATEL 1300M Turbo pump with ADIXEN ACT 1300 controller
VME Chassis: 021
Bias match assembly: 018
ESC Frosted TCP window: 8"
TCP Match dual endpoint detector module
ESC Power supply.
LAM RESEARCH A4 9400 PTX est un graveur/asher de précision avancé, performant et conçu pour faciliter un transfert de motifs rapide, précis et précis pour un large éventail de matériaux. L'etcher/asher est équipé de fonctions programmables de contrôle de processus, offrant aux utilisateurs la possibilité de personnaliser les paramètres de processus pour obtenir des résultats optimaux. A4 9400 PTX etcher/asher comprend un système avancé de fraisage ionique intégré qui fournit des niveaux plus élevés de précision, de vitesse et de fidélité de motif que les graveurs traditionnels. Le système de fraisage ionique est équipé d'un générateur RF de puissance variable et est encastré dans une chambre de confinement plasma basse pression, permettant une plus grande flexibilité lors de la gravure de structures délicates et de motifs très précis. LAM RESEARCH A4 9400 PTX est équipé d'un étage unique de mouvement relatif de l'échantillon, permettant un contrôle plus strict de la gravure du motif et une précision de positionnement améliorée. Cette caractéristique est particulièrement intéressante pour les utilisateurs participant à des travaux d'échantillonnage à plus grande échelle où l'alignement et l'enregistrement précis des modèles sont essentiels. A4 9400 PTX intègre une gamme de paramètres avancés tels que le temps total d'ouverture du gaz, le taux de dépôt, l'angle d'incidence, l'angle d'érosion et le délai. Ces fonctionnalités permettent aux utilisateurs d'adapter l'graveur/asher à leurs exigences de processus spécifiques, ce qui donne une excellente précision de transfert de motifs. LAM RESEARCH A4 9400 PTX propose également une gamme d'accessoires, dont un loadlock, un porte-échantillon incliné et des plaques électrostatiques segmentées. Cela permet la flexibilité d'une variété de tailles d'échantillons et de géométrie. Le système est encore amélioré avec une alimentation électrique 2.0KW, conçue pour une grande fiabilité et un contrôle précis des conditions de processus. A4 9400 PTX est un graveur/asher très avancé qui assure précision, efficacité et qualité dans les processus de transfert de motifs et de préparation d'échantillons. Il fournit aux utilisateurs une large gamme de fonctions de contrôle de processus, leur donnant la capacité d'adapter l'graveur/asher en fonction de leurs besoins spécifiques. La gamme d'accessoires et de caractéristiques font de LAM RESEARCH A4 9400 PTX un choix idéal pour la production de modèles de haute précision et la préparation d'échantillons.
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