Occasion LAM RESEARCH A4 9400 #9127504 à vendre en France

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Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
A4 9400
ID: 9127504
Chambers (1) LAM A4 9400 DFM chamber (1) LAM A4 9400 SE chamber.
LAM RESEARCH A4 9400 est un graveur/asher avancé conçu pour fournir aux utilisateurs des solutions polyvalentes et rentables pour des applications complexes via la formation et la mise en oeuvre. Avec des fonctionnalités avancées, telles qu'un générateur RF intégré, une chambre de procédé haute pression, et la capacité de passer facilement entre les types de gravure et de recette de cendre, A4 9400 est un choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs et les laboratoires de recherche qui ont besoin d'un graveur/asher à charge moyenne fiable pour leurs besoins de traitement ionique polyvalent. La conception innovante de LAM RESEARCH A4 9400 comprend une chambre de procédé haute pression avec une pression de base supérieure à 1x10-4 torr, permettant aux utilisateurs d'obtenir des performances de procédé optimales pour toutes les variations de gravure et de dépôt. Cette chambre avancée permet également une pression de fond pratique maximale de 1x10-6 torr grâce à l'utilisation de la technologie de pompage haute pression eSFOC. Le générateur RF efficace intégré dans A4 9400 fournit une grande quantité de puissance jusqu'à 500 w, donnant aux utilisateurs la capacité de générer des densités de plasma RF plus élevées. Cette puissance RF permet aux utilisateurs de produire des films plus épais avec un faible rendement de perte de matière et de neutralisation de charge, ce qui entraîne des rendements de processus plus élevés et des tolérances de motifs plus serrées. LAM RESEARCH A4 9400 offre également un certain nombre de caractéristiques de sécurité, comme un système de purge qui peut être activé pour assurer un fonctionnement propre, et un système de garde RF conçu pour protéger le personnel et l'équipement à proximité. En outre, l'A4 9400 dispose d'une unité de travail industrielle de conception ergonomique, permettant aux utilisateurs de positionner leurs pièces confortablement et efficacement pendant qu'ils les gravent ou les aspire. En plus de ses performances supérieures, LAM RESEARCH A4 9400 offre également un changement de recette facile et une vitesse de traitement élevée. Il peut passer de la gravure aux recettes ashing en aussi peu que 2 secondes, permettant aux utilisateurs de changer rapidement les formulations de recettes pour répondre à leurs besoins de processus particuliers. L'A4 9400 permet également aux utilisateurs d'atteindre des vitesses de traitement allant jusqu'à 4 500 wafers par heure, ce qui permet des roulements rapides et efficaces. LAM RESEARCH A4 9400 est un graveur et asher à charge moyenne fiable et polyvalent qui répond aux exigences de l'industrie de la fabrication et de la recherche sur les semi-conducteurs. Avec ses capacités de gravure et de cendrage avancées, son générateur RF puissant, sa chambre de traitement haute pression, sa commutation facile et son traitement rapide, l'A4 9400 est la solution idéale pour le traitement ionique des demandes.
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