Occasion LAM RESEARCH A4 #148352 à vendre en France
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Vendu
ID: 148352
Transport module
(2) VCs
Dual 6" arms
MTR5 robot
Autoloader
VAT valves
Running Envision 2.1.
LAM RESEARCH A4 est un outil de gravure très avancé spécialement conçu pour la fabrication de plaquettes de précision. Le dispositif est équipé d'un équipement unique d'alignement des sources à quatre voies qui lui permet d'effectuer une gravure à haut rapport d'aspect à un taux de répétabilité élevé. Ce nouveau système comprend un module breveté d'inspection visuelle capable de découvrir même les défauts les plus subtils ainsi que de mesurer avec précision les profondeurs gravées. LAM RESEARCH A-4 est un outil de gravure de plaquettes haute performance conçu pour le traitement de substrat semi-conducteur. Il utilise la chimie plasma avancée pour effectuer une variété de gravure de haut rapport d'aspect dans le domaine de la fabrication de plaquettes. Le produit est constitué de quatre sources disposées en croix sur la plaquette. Ceci permet de répartir uniformément la vitesse de gravure sur toute la surface de la plaquette. Pour assurer la répétabilité et la précision, A4 est équipé d'une unité spéciale d'alignement des sources à quatre voies qui est optimisée pour les écrans fins et les technologies avancées d'emballage électronique. Le dispositif est également capable de reconnaître et d'arrêter l'érosion à des endroits qui dépassent les spécifications de conception. En outre, il est programmé avec une gravure de recul (2D-LDE) bidimensionnelle qui peut détecter les défauts de surface sur les plaquettes et créer des structures complexes. Le 2D-LDE permet de fabriquer des structures de sous-quarts de micron ainsi que des géométries complexes telles que des vias à trous traversants. Les capacités de traitement robustes de l'A-4 sont supportées par le module d'inspection visuelle unique du produit. Ce module est capable de détecter la présence de défauts de gravure, tels que des dépressions de surface, des dents, et d'autres caractéristiques, au niveau des sous-microns. Il peut également mesurer les profondeurs avec précision et signaler les problèmes de fausses indications. Le module prend également en charge le contrôle en temps réel du processus post-gravure ainsi que l'amélioration du rendement grâce à une plus grande précision des caractéristiques gravées. Enfin, le produit est équipé de fonctions de surveillance et de rétroaction qui permettent une optimisation des processus et une meilleure traçabilité. En résumé, LAM RESEARCH A4 est un outil de gravure très avancé qui permet de fabriquer des plaquettes de précision. Il est équipé d'une machine sophistiquée d'alignement des sources à quatre voies, 2D-LDE, et d'un module complet d'inspection visuelle. Ces composants permettent une gravure efficace et précise des plaquettes et la détection des défauts de gravure. En outre, le produit a été conçu pour fournir un contrôle de processus en temps réel et des résultats fiables.
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