Occasion LAM RESEARCH A6 9608 PTX #9241406 à vendre en France

LAM RESEARCH A6 9608 PTX est un graveur/asher développé par LAM RESEARCH Corporation pour être utilisé dans des procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Ce graveur/asher est conçu pour une fabrication à haut volume dans les lignes de production de semi-conducteurs. Il exploite la technologie des plaques thermiques en attente de brevet de l'entreprise pour fournir des résultats précis, à haut rendement de gravure et de cendrage. L'équipement dispose d'un générateur RF de 20 kW, d'un transfert efficace et d'un débit haute pression (jusqu'à 760 Torr) pour des processus de cendrage et de gravure précis. Le PTX est également équipé d'un système de plaques thermiques, qui assure une répartition uniforme de la température et contribue à réduire le temps de traitement. Ce graveur/asher dispose de la technologie innovante Hornet de gravure ionique réactive qui peut traiter des plaquettes d'une épaisseur allant de 0,1 mm à 0,27 mm. Il dispose également d'une unité de contrôle de processus avancée qui dispose de fonctions d'alignement automatique et de focalisation automatique, et d'un chargeur automatique de cassette cible pour l'échange rapide de substrat. Il est également équipé d'un compilateur avancé de recettes de processus pour simplifier la tâche de développement de recettes de processus. A6 9608 PTX etcher/asher a une capacité maximale de 8 pouces de plaquettes, une uniformité de 6500 Angströms, et une répétabilité du processus de 3,5 sigma. Il supporte une large gamme de substrats de plaquettes tels que le silicium, le quartz et le saphir, ainsi qu'une vaste liste de matériaux pour la gravure et le cendrage. La machine est également capable de traiter une large gamme de gaz précurseurs du PFG tels que le chlore, l'azote et le brome. En outre, cet outil est équipé d'un PANalytical Quartz Analysis Asset, qui assure le suivi et l'analyse en temps réel des performances des processus. L'etcher/asher est également compatible avec le modèle de contrôle thermique LAM A9, permettant un contrôle automatique de la température de la chambre de procédé. Ainsi que l'équipement de contrôle de l'ozone, qui fournit un contrôle précis de la production d'ozone pour assurer des résultats de gravure ou de cueillette uniformes. LAM RESEARCH A6 9608 PTX est un graveur/asher de haute précision qui fournit une excellente fiabilité de processus et le débit aux lignes de production de semi-conducteurs. Ce système fiable et économique est idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, l'assemblage d'emballages et d'autres applications.