Occasion LAM RESEARCH A6 9608 PTX #9410068 à vendre en France

LAM RESEARCH A6 9608 PTX etcher/asher est un outil industriel de gravure plasma utilisé pour la fabrication de précision de produits semi-conducteurs et micromachinés. Le PTX 9608 présente une gravure chimique, utilisant un gaz réactif, combinée à une gravure utilisant une forme physique d'énergie, appelée plasma. L'outil offre une excellente combinaison de contrôle de processus et de cohérence de gravure, tout en atteignant un débit élevé en transférant rapidement le matériau de la plaquette source à la plaquette cible. Le design robuste de la 9608 PTX est bien adapté aux opérations répétitives dans des environnements industriels difficiles. Le système est construit avec une architecture multi-chambres permettant une variété de processus de gravure. Il est équipé de trois chambres de procédé, une chambre de pré-gravure, une chambre de gravure et une chambre de post-gravure. Chaque chambre offre de nombreuses possibilités de gravure et la possibilité de régler des paramètres tels que la pression, le débit et la température. La voie de recirculation de l'eau assure le maintien de la température dans le processus de gravure, même pendant les longues courses. Le système efficace 9608 PTX est conçu pour l'intégration serrée de processus multiples dans une seule opération de gravure. Il comprend une automatisation avancée pour des opérations de lots efficaces en plusieurs étapes, avec des recettes de processus stockées en mémoire et rapidement rappelées pour une utilisation future. Le système est équipé de conseils de recette de processus, de surveillance en temps réel, de détection de défauts et de fonctions d'arrêt automatique pour garantir la qualité du produit. De plus, l'outil permet de recueillir des données et de présenter des rapports pour améliorer les processus et réaliser des économies matérielles. Le 9608 PTX est compact et fiable, avec une faible consommation d'énergie. Il garantit que les processus sont menés en toute sécurité et sans contamination. Pour un débit constant et une qualité optimale des produits, LAM RESEARCH offre un soutien technique et une formation aux produits, ainsi qu'un ensemble complet d'outils diagnostiques et de programmes de maintenance prédictive. L'outil flexible et facile à entretenir offre des performances industrielles de rendement impressionnantes, permettant l'optimisation du processus et du fonctionnement.