Occasion LAM RESEARCH A6 9608 PTX #9410070 à vendre en France

LAM RESEARCH A6 9608 PTX est un graveur/asher plasma avancé, avec des performances et des capacités supérieures pour soutenir les exigences modernes de gravure/ashing. Il s'agit d'un équipement multi-chambres à grande échelle équipé de la technologie HVIF (High Velocity Ionized Flow) avancée, et est capable de nettoyer des substrats de différentes tailles dans plusieurs chambres de traitement. A6 9608 PTX dispose d'une nouvelle technologie de source de plasma qui utilise la haute fréquence et la puissance élevée pour créer une torche à plasma stable et uniforme. Cette technologie de pointe permet une haute précision de gravure/cendrage avec de faibles dommages et une uniformité supérieure de gravure/cendres. Le système de contrôle peut également ajuster automatiquement la puissance et la répétabilité de la torche à plasma pour augmenter la répétabilité du processus et la précision des performances. LAM RESEARCH A6 9608 PTX est équipé d'une unité de distribution de gaz multi-zones, qui permet un contrôle précis de la réaction de gravure/cueillette. La machine à gaz multi-zones permet à l'utilisateur de régler les réglages de la chambre, tels que la pression, la température et le débit, pour ajuster la réaction de gravure/ashing pour répondre aux exigences du processus. A6 9608 PTX est également capable de supporter un large éventail de types de gaz, tels que CF4 (tétrafluorométhane), C3F6 (hexafluoroéthane) et d'autres mélanges de gaz, ce qui le rend adapté à la plupart des applications de gravure/cueillette. L'outil est également équipé d'un matériel spécial de nettoyage des plaquettes qui peut manipuler des matériaux semi-conducteurs et non-semi-conducteurs. Ce modèle est conçu pour préparer les substrats avant le processus de gravure/cueillette en éliminant les matériaux et particules indésirables des substrats. LAM RESEARCH A6 9608 PTX est conçu pour fournir un niveau supérieur de contrôle et de précision pendant le processus de gravure/cueillette. Il est équipé d'une large gamme de systèmes de contrôle automatisé pour assurer des conditions de processus précises et reproductibles. L'interface logicielle complète de l'équipement permet aux utilisateurs d'observer les paramètres de performance de gravure/ashing et de surveiller le processus à distance. A6 9608 PTX est conçu pour une intégration facile avec d'autres outils LAM RESEARCH, tels que les systèmes de prétraitement et de post-traitement. Il permet également aux utilisateurs de configurer plusieurs recettes de processus et les paramètres de processus pour diverses applications de gravure/ashing. Le système est également capable de stocker des données de processus étendues, permettant aux utilisateurs de suivre les paramètres de performance de gravure/ashing et d'expérimenter avec différentes recettes. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH A6 9608 PTX est un graveur/asher plasma avancé, avec des performances et des capacités supérieures pour soutenir les exigences modernes de gravure/ashing. Il est équipé de la technologie HVIF (High-Velocity Ionized Flow) et d'une unité de distribution de gaz multi-zones qui le rendent idéal pour les applications de gravure/ashing de précision. En outre, la machine fournit un contrôle automatisé, le stockage de données de traitement, et une large gamme de types de gaz, ce qui le rend adapté à une variété d'applications de gravure/cueillette.