Occasion LAM RESEARCH A6 #293821538 à vendre en France

LAM RESEARCH A6 est un graveur/asher multi-chambres, multi-processus qui offre des capacités de gravure et ashing rapides et fiables pour une variété d'applications. A6 est un équipement robuste, performant et fiable qui est efficace pour la gravure de grandes ou petites tailles de substrat. Le système se compose de deux chambres de traitement indépendantes, contrôlées par la température et la pression, avec une grande et spacieuse chambre de traitement adaptée pour les substrats plus grands et plusieurs chambres plus petites pour les substrats plus petits. Ceci permet un traitement de substrat variable en fonction des exigences de l'application. L'unité dispose de flux et de pressions de gaz programmables indépendamment, permettant un débit de processus optimisé et des temps de cycle rapide sur une large gamme de matériaux. De plus, la machine permet une flexibilité maximale dans le traitement du substrat avec jusqu'à quatre supports de substrat par chambre. LAM RESEARCH A6 comprend également des caractéristiques avancées de conception de chambre, telles que le rinçage automatique de chambre, le contournement multi-chambre, le contournement double soufflante et le chargement et le déchargement des parois latérales de chambre. De plus, la disponibilité de procédés humides et secs avec A6 permet aux utilisateurs de réduire les coûts d'exploitation et d'augmenter les rendements. LAM RESEARCH A6 est également compatible avec une large gamme de gaz tels que CF4, SF6, NF3 et Ar. Enfin, A6 dispose d'une fonction d'optimisation de processus multi-chambres intégrée qui le rend très fiable, efficace et convivial.