Occasion LAM RESEARCH AE 480 #9214116 à vendre en France
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LAM RESEARCH AE 480 est un équipement de graveur/asher de pointe conçu pour atteindre le plus haut niveau de contrôle des processus, de précision et de débit de plaquettes. Doté de puissantes capacités de gravure et de cuisson, l'AE 480 peut gérer un large éventail d'applications de semi-conducteurs telles que la gravure de grille poly-Si, la gravure source/drain et le nettoyage des plaquettes. Avec ses processus entièrement automatisés et sa technologie de contrôle des processus de pointe, LAM RESEARCH AE 480 aide les clients à fournir la meilleure qualité, rendement et débit. L'AE 480 dispose d'un système de verrouillage de charge de 50 plaquettes qui offre une solution de manutention et de stockage unique, efficace et économique. Il est capable de traiter des plaquettes de grande taille « quart de coupe » (jusqu'à 12 pouces de diamètre) qui peuvent être transférées vers et à partir du graveur/asher sans aucune intervention manuelle. LAM RESEARCH AE 480 dispose également d'une unité avancée de contrôle des processus en temps réel, permettant de maintenir une pression, une tension et un débit de gaz optimisés tout au long du cycle de traitement. AE 480 etcher/asher est alimenté par une source HF double fréquence flexible qui fournit un débit de gravure et de cuisson inégalé. Sa conception modulaire permet aux clients de personnaliser leurs systèmes pour répondre à leurs besoins de fabrication spécifiques. De plus, sa capacité avancée d'acheminement des gaz contribue à maintenir un taux de gravure élevé, tandis que sa capacité de cuisson à haute température assure une uniformité maximale sur toutes les couches de plaquettes. LAM RESEARCH AE 480 offre également aux clients une meilleure fonctionnalité. La machine est conçue avec une architecture ouverte qui peut être facilement mise à niveau et configurée avec des composants tiers tels que des systèmes robotiques et de réapprovisionnement, des systèmes thermiques et des convoyeurs. En outre, AE 480 dispose d'une structure de réseautage conviviale qui prend en charge le diagnostic et la maintenance à distance et à l'interne. Grâce à ses caractéristiques avancées et à sa conception robuste, LAM RESEARCH AE 480 offre à ses clients des performances inégalées qui leur permettront de répondre à tous leurs besoins de fabrication de semi-conducteurs. Avec sa répétabilité inégalée des processus, son contrôle avancé des processus et ses capacités à haut débit, l'AE 480 est le graveur/asher idéal pour atteindre la plus haute qualité de produit et les meilleurs rendements.
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