Occasion LAM RESEARCH Alliance 4.1 #293587281 à vendre en France
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LAM RESEARCH Alliance 4.1 est une plate-forme de gravure/aser à semi-conducteur capable de fournir des services de gravure de précision, de pulvérisation et de dépôt physique en phase vapeur à l'industrie des semi-conducteurs. L'équipement est construit sur une plate-forme de 11 pouces par 10 pouces et est équipé de deux chambres PVD de 4 pouces (dépôt physique en phase vapeur). La plate-forme permet un large éventail de procédés, y compris la gravure et le nettoyage des substrats et le dépôt de couches de protection sur eux. Il propose également des dépôts monocouches et multicouches, des dépôts de couches ultra minces et la gravure de MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). L'Alliance 4.1 est capable de manipuler une taille maximale de plaquettes de 4 pouces et peut traiter une variété de matériaux tels que le silicium, la silice, et photorésist. En outre, ses systèmes de contrôle intégrés permettent un contrôle complet du processus de gravure, y compris le moment et les paramètres du processus, ce qui donne des résultats reproductibles et reproductibles. L'Alliance 4.1 est ergonomiquement conçue pour optimiser les flux de travail et permettre un accès facile à tous les composants. De plus, le système est équipé d'une capacité de cartographie haute résolution permettant de cartographier les variations des plaquettes ainsi que la répartition de la température sur les plaquettes. L'unité permet également des capacités de processus supplémentaires telles que le dépôt de films noyés et de films multi-métalliques pour des applications multicouches. L'Alliance 4.1 est capable de fournir un suivi des processus et des diagnostics en temps réel, ce qui permet aux ingénieurs de déterminer l'état du processus de gravure. En outre, il fournit une bibliothèque de recettes standard pour faciliter la programmation et il est compatible avec les plates-formes logicielles standard de l'industrie. De plus, la machine est équipée d'un outil de sécurité intégré afin d'assurer un fonctionnement sûr et fiable. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Alliance 4.1 offre une plate-forme de gravure avancée et fiable pour l'industrie des semi-conducteurs. Il présente diverses caractéristiques utiles, telles que la surveillance des processus, la cartographie à haute résolution et la compatibilité avec les plates-formes logicielles standard de l'industrie, ce qui en fait un excellent choix pour toute application nécessitant une gravure ou un dépôt précis.
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