Occasion LAM RESEARCH Alliance 4720 #9192401 à vendre en France

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ID: 9192401
Dry etcher, 8" (2) Chambers Main body PM1 PM2 Gas box PRM Control rack (2) Chillers Pump interface (3) Parts boxes Maintenance monitor hinge 1996 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 4720 est un réacteur à plasma inductif à couplage inductif (PIC), entièrement automatisé et hautement fiable pour les processus de gravure et de cueillette. C'est un équipement de procédé volumétrique hautement contrôlable, idéal pour la gravure et le cendrage de type production. Ce système est capable d'exécuter plusieurs recettes de processus à un seul réglage, permettant un contrôle précis des variables de processus. L'unité dispose d'un noyau de quatre capacités qui donne des résultats de gravure/cueillette supérieurs. Il est conçu avec un bras de robot mécanique 3 axes pour une manipulation précise des plaquettes dans un environnement fermé et une machine automatisée de manutention des plaquettes pour assurer un traitement sûr et efficace des plaquettes. De plus, Alliance 4720 est livré avec un outil de contrôle dynamique du gaz, un module de contrôle de la température, un module de contrôle de la pression, et un moyen de verrouillage de sécurité qui empêche un mauvais fonctionnement. L'équipement dynamique de contrôle des gaz du modèle permet des paramètres de gravure/cueillette précis qui sont nécessaires pour répondre aux exigences de fabrication exigeantes d'aujourd'hui. Le module de contrôle de la température et de la pression assure un chauffage et un contrôle de la pression constants. Un analyseur de gaz opto est également inclus pour la surveillance continue en temps réel des gaz de procédé. LAM RESEARCH Alliance 4720 est soutenue par les systèmes de distribution de gaz et de produits chimiques les plus fiables disponibles. Il est alimenté par l'architecture avancée de communication et de contrôleur de LAM qui permet de modifier, contrôler et surveiller les applications à distance. Il supporte à la fois l'interface opérateur et le contrôle automatisé. Le système comprend également des alarmes de maintenance standard pour suivre la température, la pression et le débit de gaz. Ce graveur/asher peut traiter jusqu'à 6 "de diamètre de plaquette. Ses performances de gravure/cueillette uniformes sur un large éventail de substrats et les exigences variées des procédés garantissent des résultats fiables et reproductibles. Alliance 4720 est également capable de traiter des cassettes allant jusqu'à 40 plaquettes à la fois, ce qui le rend adapté à la production au niveau des plaquettes. En outre, l'unité est certifiée et entretenue par le programme LAM Alliance Certified, garantissant les composants de la plus haute qualité disponibles.
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