Occasion LAM RESEARCH Alliance 6.0 TCP 9400 PTX #9024652 à vendre en France
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Vendu
ID: 9024652
Dry etcher, 8"
CASS NEST PLASTIC 8"
Wafer Shape SNNF (Semi Notch No Flat)
SMIF Interface NO
System Information:
Platform type ALLIANCE 6.0
Process chamber qty 3
Software version A2.2-018
SECS/ GEM yes
Chamber Location / Type / Current process:
Position 1 (PM1) TCP9400PTX / Poly etch
Position 2 (PM2) TCP9400PTX / Poly etch
Position 3 (PM3) TCP9400PTX / Poly etch
Position 4 (PM4) none
Etch Chamber:
Chamber type TCP9400PTX
Turbo pump EDWARDS STP-A1303CV80
Turbo N2 fixed or MFC Type Fixed
Helium UPC UPC-8130
Endpoint detector none
Pendulum valve model VAT 65046-PH52-ADE
Chamber Manometer MKS E29B-23813
Turbo Manometer MKS 625A-14375
Foreline Manometer MKS 625A-14059
Helium Manometer yes
Top RF generator model AE / 3155059-026
Bottom RF generator model AE / 3155059-028 (RFG1250 HALO)
TCP Match yes
Bias Match yes
TOP RF Sense Box yes
Bias RF Sense Box yes
Auto Tune Board yes
DIP Board yes
VCI Connected No
Gas configuration and setup:
Chamber volume used for gas cal 36200 ml
Gas Box:
type Extended capability gas box – Phase II
gas box qty 3 (stacking)
manual valve yes on each line
pressure gauge yes on each line
regulator yes on each line
filter yes on final line
Gas Panel Pallet:
gas line qty with N2 purge line 8
gas line qty without N2 purge line 0
MFC type UFC-1661 / UFC-1660 / UFC-8160
Gas line (gas name, MFC size)
PM1
line 1 O2 100 / UFC-1660
line 2 NF3 100 / UFC-1661
line 3 He 200 / UFC-1660
line 4 CF4 200 / UFC-1660
line 5 SO2 100 / UFC-1660
line 6 SF6 200 / UFC-1660
line 7 Ar 200 / UFC-1660
line 8 none
PM2
line 1 O2 100 / UFC-1660
line 2 NF3 100 / UFC-1661
line 3 He 200 / UFC-1660
line 4 CF4 200 / UFC-1660
line 5 SO2 100 / UFC-1660
line 6 SF6 200 / UFC-1660
line 7 Ar 200 / UFC-1660
line 8 none
PM3
line 1 O2 100 / UFC-1661
line 2 NF3 100 / UFC-1661
line 3 He 200 / UFC-1661
line 4 CF4 200 / UFC-1660
line 5 SO2 100 / UFC-1660
line 6 SF6 200 / UFC-1660
line 7 Ar 200 / UFC-1660
line 8 none
Mainframe:
Loadlock Dual VCE Loader / Manual Door open
Robot type BROOKS MagnaTrain 7 (with Dual aluminum blade)
EMO button front, side
Signal tower (front) green, yellow, red
Remotes:
RPM
Qty 1
EMO button yes
Line frequency and voltage 208VAC 3ph
Remote UPS interface yes (105V 1ph)
UPS yes
System monitor display 1 (front)
Heat Exchanger Type:
For Cathode NOAH PRECISION, LLC / Model 3300 (-20 ~ +90degC)
qty 3
Pumps Type:
Transfer Module EBARA A70W (not included in scope, needed to confirm)
PM1 EBARA A30W (not included in scope, needed to confirm)
PM2 EBARA A30W (not included in scope, needed to confirm)
PM3 EBARA A30W (not included in scope, needed to confirm)
Gas Scrubber:
qty 1
Type EBARA GTE-3-0WVT (not included in scope, needed to confirm)
1998 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 6.0 TCP 9400 PTX est un puissant graveur/asher conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes en matière de traitement industriel. Le PTX dispose de technologies de pointe qui sont conçues pour offrir des performances et une efficacité supérieures. L'équipement dispose d'une gamme de caractéristiques qui permettent une production rentable et efficace. Il est composé d'une chambre de procédés, d'une source de gaz, d'une source thermique, d'une boîte à gaz, d'un séquenceur de procédés, d'un détecteur de taille de substrat, d'une source d'alimentation par polarisation continue et d'une source d'alimentation RF. Cette combinaison de composants fournit un système de gravure anisotrope et d'ashing efficace et productif. La chambre de traitement est conçue avec des caractéristiques spéciales pour une qualité de traitement uniforme et répétable. L'alimentation RF fournit une puissance précise et contrôlée pour une gravure et un cendrage précis. L'unité de contrôle de la température et du gaz assure que toutes les facettes de la chimie des procédés sont surveillées et contrôlées avec précision pour garantir des résultats de processus reproductibles. La source de gaz est conçue pour un large éventail de capacités, y compris la fourniture de divers gaz de procédé tels que Cl2, SF6, O2 et Ar. La source thermique est intégrée à la machine et offre une solution rentable pour les processus répétables de gravure anisotrope et d'ashing. Une boîte à gaz intégrée contrôle le mélange de gaz de procédé pour une gravure et une cueillette précises. Le séquenceur de processus assure le contrôle du processus et permet à l'outil de s'ajuster automatiquement aux diverses conditions du processus. La capacité de détection de la taille du substrat assure la précision et la répétabilité du processus de gravure et de cueillette. L'alimentation par polarisation continue permet d'améliorer les taux de gravure et de cendrage en fonction du matériau du substrat et des conditions du procédé. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Alliance 6.0 TCP 9400 PTX est un graveur/asher puissant et fiable, conçu pour répondre aux exigences des installations de transformation industrielle. Il est doté d'un design sophistiqué et de technologies de pointe pour garantir des résultats reproductibles et des performances exceptionnelles.
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