Occasion LAM RESEARCH Alliance 6 #9145733 à vendre en France
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ID: 9145733
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Transport module, 8"
Robot:
Position: Transfer
Maker: BROOKS
Model: Mag 7
(2) Blades
System monitor:
(3) Monitors
Load lock:
Load lock type: Auto door
VCE Elevator: Bellows
Mapping sensor
VCE Gate valve
VCE Vacuum isolation valves
TM Vacuum isolation valves
TM Pneumatic valves
Cassette type:
(25) Slot cassettes
TM Lid:
Pneumatic cylinder lift
Up / Down actuate switch
Transport system control:
Transport VME ( MVME 147-011, VME335, DIOXVME-240 )
Multiplexer PCB
Light tower PCB
Chamber:
Position I:
Chamber type: Empty
Position II:
Chamber type: Empty
Position III:
Chamber type: Empty
Position IV:
Chamber type: Empty
Aux Position I:
Chamber type: Aligner
AUX Position II:
Chamber type: Empty
Gas boxes:
PM 1
PM 4
PM 2:
MFC Channel Gas MFC Type MFC Size (SCCM)
AC 01 - CHA C4F8 FC-D980CU 50
AC 02 - CHA O2 FC-D780CU 100
AC 03 - CHA CHF3 FC-D780CU 50
AC 04 - CHA CF4 FC-D780CU 200
AC 05 - CHA O2 (30%) HE FC-D780CU 100
AC 06 - CHA C4F6 FC-D780CU 50
AC 07 - CHA CH2F2 FC-D780CU 100
AC 08 - CHA CF4 FC-D780CU 1000
AC 09 - CHA H2 FC-D780CU 1500
AC 10 - CHA Ar FC-D780CU 1000
AC 11 - CHA N2 FC-D780CU 1000
AC 12 - CHA O2 FC-D780CU 3000
PM 3:
MFC Channel Gas MFC Type MFC Size (SCCM)
AC 01 - CHA C4F8 FC-D780CU 50
AC 02 - CHA O2 FC-D780CU 100
AC 03 - CHA CHF3 FC-D780CU 50
AC 04 - CHA CF4 FC-D980CU 200
AC 05 - CHA O2 (30%) HE FC-D780CU 100
AC 06 - CHA C4F6 FC-D780CU 50
AC 07 - CHA CH2F2 FC-D780CU 100
AC 08 - CHA CF4 FC-D780CU 1000
AC 09 - CHA H2 FC-D780CU 1500
AC 10 - CHA Ar FC-D780CU 1000
AC 11 - CHA N2 FC-D780CU 1000
AC 12 - CHA O2 FC-D780CU 3000
Standard signal tower
Wafer present sensors (WPS)
TM & VCE Pump: Single pump type
2000 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 6 est un graveur et asher indépendant conçu pour des applications de précision de production à haut volume dans l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une plate-forme efficace et rentable pour la R-D et les environnements de production. Alliance 6 offre une large gamme de caractéristiques pour une efficacité de traitement optimale, des performances élevées et une uniformité. LAM RESEARCH Alliance 6 est un équipement multi-chambres avec une station de transfert automatisée qui fonctionne avec jusqu'à six cassettes pour augmenter la capacité de débit. Il offre des profils verticaux et horizontaux uniformes, avec des options pour les applications de veille, de gravure diélectrique et isotrope. La conception du système offre également une large gamme de contrôle de pente de gravure et d'uniformité, ainsi que la capacité d'optimiser les paramètres de contrôle de processus de gravure. L'unité offre également une large gamme de fonctionnalités visant à contrôler la contamination par les particules et à prévenir la contamination par les particules du procédé. Il utilise une machine automatisée d'échappement sous vide qui renouvelle constamment l'environnement du processus, empêchant l'accumulation de sous-produits du processus. L'outil dispose également d'une fonction d'épurateur-vide en option qui élimine efficacement les particules des parois de la chambre. Alliance 6 est conçu pour fonctionner dans un atout 3 pouces ou 4 pouces 300mm de porte-plaquettes, et il dispose d'un alimentateur automatisé pour charger les plaquettes et d'un bras robot pour les décharger. Il utilise une combinaison de configurations de chambres parallèles et non parallèles pour obtenir une uniformité et une épaisseur constante. Il utilise également la puissance RF à double polarité à canaux multiples pour assurer une gravure uniforme avec un faible taux de défaut. LAM RESEARCH Alliance 6 dispose d'un agencement de cathode configurable, avec une station de cathode principale qui a à la fois un plateau et une électrode de grille pour une gravure tempérée optimisée. Le modèle utilise des diagnostics avancés, y compris la cartographie des plaquettes, pour garantir une action de gravure précise. Il dispose également d'un contrôle à haute température, d'une rotation rapide de la cathode et d'un équipement de livraison chimique pour un contrôle chimique précis. Alliance 6 utilise un logiciel de pointe pour contrôler les paramètres du processus tout au long de l'exécution et fournir une rétroaction continue des performances de la chambre. Cela permet une optimisation continue des paramètres de processus et des résultats de profil uniformes. Ce système est également conçu pour la surveillance à distance et la gestion des données via Internet et Intranet, ainsi que la capacité de transférer des recettes et des données de performance vers des PC ou des bases de données réseau.
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