Occasion LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX #293666065 à vendre en France
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ID: 293666065
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Oxide etcher, 8"
Non-functional
Robot: MAG 7 (Dual end effector)
(2) Chambers
Wafer type: Notch, 26 slots
EMO Guard ring
SECS/GEM Interface
TCP9100 Process module
Pendulum throttle valve
VAT 65 Gate valve
65046-PH52-ADE1 VAT Step motor
650PM-36PM-1004 VAT Adaptive pressure controller
Gas panel exhaust flange
Gas Pallet Chamber 1 and 2:
Ar (500 sccm, Analog) FC-780C
O2 (2000 sccm, Analog) FC-780C
C4F8 (50s ccm, Analog) FC-780C
CHF3 (100 sccm, Analog) FC-780C
C5F8 (50 sccm, Analog) FC-780C
CH2F2 (100 sccm, Analog) FC-780C
O2 (30 sccm, Analog) FC-780C
CO (200 sccm, Analog) FC-780C
Power supply: 208 VAC, 60 Hz
2000 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX est un graveur/asher avancé conçu pour fournir des processus de gravure et d'ashing extrêmement précis. Utilisant différentes sources de plasma, y compris l'excitation radiofréquence (RF) et l'excitation hyperfréquence, Alliance 9100 PTX offre les niveaux de précision et d'efficacité les plus élevés dans un seul outil. LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX dispose d'un design modulaire pour un maximum de performance et de fiabilité dans la production. Ses composants d'outils sont conçus pour un alignement et une répétabilité très précis, ce qui lui permet de fournir un maximum de précision et d'uniformité dans les processus de gravure et d'ashing. Il offre également deux variantes de procédés, selon le matériau à graver ou à souder. Le premier est un graveur/asher basse pression, et le second est un système de plasma à pression atmosphérique (APP). Cela permet à la machine de fournir le procédé le plus approprié pour une variété de matériaux, y compris les polymères, le silicium polycristallin et les dispositifs non-silicium. Alliance 9100 PTX est un outil hautement personnalisable, permettant aux utilisateurs de personnaliser les paramètres de processus pour répondre à leurs exigences exactes. Il peut également s'intégrer aux systèmes de contrôle de processus EPT2 exclusifs de LAM, donnant aux utilisateurs l'accès à un contrôle de processus avancé pour garantir des résultats de gravure et d'ashing reproductibles et optimisés sur plusieurs séries. Différentes configurations de gravure et de cendrage sont également disponibles pour répondre à différents besoins. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX est une solution idéale pour les besoins de gravure et d'ashing très précis des principaux fabricants de l'industrie. Il fournit des résultats fiables qui dépassent constamment les attentes, offrant une précision et une répétabilité exceptionnelles pour un large éventail de matériaux et d'exigences d'application. Il offre également une flexibilité et un contrôle de processus inégalés, permettant aux utilisateurs d'ajuster rapidement les paramètres du processus pour garantir des résultats reproductibles et optimisés.
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