Occasion LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX #293754418 à vendre en France
URL copiée avec succès !
ID: 293754418
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Oxide etcher, 8"
Non-functional
Robot: MAG 7 (Dual end effector)
(2) Chambers
Wafer type: Notch, 26 slots
EMO Guard ring
SECS/GEM Interface
TCP9100 Process module
Pendulum throttle valve
VAT 65 Gate valve
65046-PH52-ADE1 VAT Step motor
650PM-36PM-1004 VAT Adaptive pressure controller
Gas panel exhaust flange
Gas Pallet Chamber 1 and 2:
Ar (500 sccm, Analog) FC-780C
O2 (2000 sccm, Analog) FC-780C
C4F8 (50s ccm, Analog) FC-780C
CHF3 (100 sccm, Analog) FC-780C
C5F8 (50 sccm, Analog) FC-780C
CH2F2 (100 sccm, Analog) FC-780C
O2 (30 sccm, Analog) FC-780C
CO (200 sccm, Analog) FC-780C
Power supply: 208 VAC, 60 Hz
2000 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX est un outil de gravure/ashing conçu pour le traitement des semi-conducteurs de nouvelle génération. Avec sa puissance et sa précision élevées, la 9100 PTX est idéale pour la fabrication d'appareils complexes avec une large gamme de procédés. Ses performances supérieures en gravure/cendres, associées à ses capacités de traitement avancées, efficaces et fiables, en font le choix idéal pour les applications les plus exigeantes en matière de traitement des matériaux et des appareils. Alliance 9100 PTX est capable d'effectuer des opérations de gravure/cendres sèches et humides allant de la gravure/cendrage rapide des diélectriques à des procédés ultra précis avec gravure/cendrage sélectif des métaux. Il dispose d'un processus d'extraction/compression à grande vitesse qui assure un débit de gravure/cendres rapide avec uniformité bord à bord et des dommages minimes. LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX dispose également d'un système avancé de suppression des acides qui réduit les temps de cycle de gravure/ashing, entraînant une efficacité de production accrue. Alliance 9100 PTX offre également un large choix d'options de manutention en aval efficaces et rentables. Il s'agit notamment du chargement de cassettes, du système de transport de cassettes robotisées SCARA, ainsi que des méthodes de chargement et de déchargement de cassettes simples verticales et/ou horizontales. LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX dispose également de la libération et du déchargement entièrement automatisés des plaquettes, ce qui élimine l'effort de l'opérateur. Ceci permet d'améliorer les performances de débit et les rendements des dispositifs. Alliance 9100 PTX dispose d'une interface opératoire intuitive qui fournit tous les contrôles nécessaires pour une opération de gravure/cendres optimale. Il dispose également d'une fonction intégrée d'édition de recette pour la création de recettes avancées, ainsi que de puissantes fonctions d'enregistrement de données pour l'analyse précise des résultats de gravure/ashing. LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX supporte des protocoles de communication modernes, comme Ethernet, permettant aux utilisateurs de se connecter facilement et d'accéder aux données de gravure/cendres à partir de n'importe quel endroit pratique. Dans l'ensemble, Alliance 9100 PTX est un outil avancé de gravure/cendres conçu pour les applications les plus exigeantes de traitement d'appareils et de matériaux. Avec sa puissance élevée, sa précision et ses caractéristiques avancées, le PTX 9100 offre des performances de gravure/cueillette fiables avec des temps de cycle réduits et des rendements de dispositif améliorés.
Il n'y a pas encore de critiques