Occasion LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #293764316 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX est un graveur/asher pour l'industrie des semi-conducteurs. Cet outil est utilisé pour la fixation, l'élimination et le dopage d'une variété de matériaux de l'aluminium au silicium et photorésist. Il est conçu pour être utilisé dans une variété de scénarios de production en raison de son évolutivité, sa flexibilité, son débit élevé et son faible coût de possession. Le cœur de l'Alliance 9600 PTX est ses capacités de gravure et d'ashing. L'unité est équipée d'un système de gravure/cueillette à sec à double étage RF pour un contrôle précis du faisceau d'ions. Cette solution est capable d'enlever des couches jusqu'à 5 nanomètres (nm), avec une fenêtre de procédé typique de 0,03-10nm. Ce système est capable de graver du métal, des oxydes, des nitrures, du silicium polycristallin et d'autres matériaux utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. La machine comprend également un obturateur de sécurité compatible avec le vide pour éviter l'échappement de gaz ou de particules lors des processus de gravure et de cueillette. D'autres composants sous vide, comme une pompe turbo moléculaire, sont inclus pour améliorer les performances de gravure et le contrôle. Cela garantit des processus de gravure et d'ashing reproductibles pour un large éventail d'applications. LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX dispose d'une interface utilisateur graphique puissante mais facile à utiliser, qui simplifie la configuration et la surveillance des processus. Son intégration Dual Computer Interface (DCI) permet aux contrôleurs d'être situés jusqu'à 50 mètres de l'outil de gravure/cendres, rendant le port de mesure et de réglage de la machine accessible depuis un emplacement extérieur pratique. Enfin, une option de verrouillage de charge est disponible, permettant le chargement automatisé d'une pièce dans la chambre de gravure et de cueillette. La machine permet une intégration avec les systèmes d'automatisation de production, permettant d'automatiser facilement les processus et de les surveiller avec un minimum d'effort. En conclusion, Alliance 9600 PTX est une solution puissante et économique pour la gravure et la cueillette de divers matériaux pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Sa faible empreinte, ses capacités de gravure/cendres, son obturateur de sécurité intégré, sa puissante interface graphique et sa flexibilité en font un outil idéal pour tout environnement de production.