Occasion LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #293764644 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX est un graveur/asher avancé conçu pour le traitement de semi-conducteurs et d'autres matériaux. L'équipement est conçu pour le décapage photorésist, la gravure profonde de silicium et la gravure métallique. L'Alliance 9600 fournit un contrôle de processus de haute précision et comprend une grande variété de modules de processus pour permettre un contrôle précis sur un large éventail de substrats et de processus. Pour des applications de précision, l'Alliance 9600 soutient l'utilisation de plusieurs types de gaz de gravure, ainsi que le traitement à température variable et un contrôle de pression très précis. Le système offre également des capacités de refroidissement, le réglage automatique de la position de la plaquette, le réglage du scellé de vide et de vide, des recettes pour de multiples opérations de processus, la surveillance à distance et la collecte automatisée de données de processus. L'unité dispose également d'une machine automatisée de transfert de plaquettes pour les processus de gravure et de cueillette. Alliance 9600 PTX est équipé d'un outil précis de distribution de gaz pour permettre un contrôle précis du gaz de gravure et de la température. L'actif comprend également un moniteur de gaz pour la surveillance des molécules de gaz de gravure, et une bouteille de gaz intégrée pour le stockage à long terme. Les bouteilles à gaz sont reliées au modèle à l'aide de tuyaux flexibles qui maintiennent l'unité solidement reliée au processus. L'Alliance propose également un équipement avancé de retrait de résines photosensibles, avec des composants intégrés tels que la buse, l'épurateur, l'extension optionnelle de l'épurateur et la lame de biseau. LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX offre un contrôle complet des processus incluant une suite complète de recettes de gaz de procédé. Il dispose également d'une surveillance des processus basée sur la recette et d'un contrôle automatique de la température en option pour permettre des profondeurs de gravure uniformes sur plusieurs substrats. Le modèle Alliance 9600 est livré avec une source basse pression à quatre étages et deux alimentations électriques indépendantes avec accès série RS-232, ainsi qu'un verrouillage de sécurité qui peut être programmé avec un verrouillage temporisé. Le système dispose également d'un réglage manuel ou automatique de la pression pour le contrôle manuel de la pression. Alliance 9600 PTX est un ensemble complet de graveurs-asher conçu pour le traitement de précision d'une large gamme de matériaux. Son unité de distribution de gaz, son régulateur de température et son régulateur de pression assurent un contrôle précis du processus. Sa variété de fonctions optionnelles de contrôle automatique et manuel de processus, telles que les recettes, le moniteur de gaz, le positionnement automatique des plaquettes et le réglage du vide et du joint, en font un choix idéal pour exiger des gravures et des asher.