Occasion LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9233428 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9233428
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Etcher, 8"
Transfer chamber:
VCE Type: LIP Seal
Aligner: 001-4130-03
Transfer robot: BROOKS Magantran 7
ARM Type: Dual thin blade
Rocker valve P/N: 715-012208-001
LL & TM Pressure gauge: HPS Series 907 / MSK
Cooling station
Turbo pump model: STP-H200C
Etch chamber: PM2 / PM3
Turbo pump: STP-1301L / STP-H1303CV3
Chamber: TCP 9600 PTX
Pressure gauge: MSK E29B-23813 (0.1 Torr) / 625A11TDE (10 Torr)
Throttle gate valve: VAT 65046-PH52-AFI1 / 0052
Source RF generator: RFDS 660-024637-006
Bias RF generator: RFG 1250 HLAO
Configuration of MW chamber: PM1 / PM4
Chamber: Alliance stripper
Throttle gate valve: VAT/64040-PE52-1009/0429
MW Generator: ASTEX FI10021
MFC:
PM1: O2 5000sccm / N2 1000sccm
PM4: O2 5000sccm / N2 1000sccm
Gas panel / Etch chamber: PM1 / PM4
Gas panel: 8 Channels
(6) Gas channels
MFC Model: TYLAN 2950 Series
Gas: PM1 / PM4
Ar 100 sccm
CHF3 100 sccm
O2 200 sccm
N2 50 sccm
CL2 200 sccm
BCL3 200 sccm
AC Rack:
Power supply: 208 VAC, 400 A, 50/60Hz, 3 Phase, 4 Wire
1998 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour intégrer la technologie de traitement de pointe pour les résultats de gravure et ashing les plus précis et précis. Ce système améliore les performances, améliore le débit, augmente le temps de disponibilité et réduit les coûts d'exploitation pour les utilisateurs. Alliance 9600 PTX est capable de traiter des substrats de 75mm à 152mm. Cette unité est conçue pour fournir des temps de cycle extrêmement rapides pour les besoins de gravure/ashing dans l'industrie des semi-conducteurs. L'Alliance 9600 est équipée de caractéristiques haut de gamme pour le traitement des matériaux de qualité supérieure. Grâce à la technologie PEDC, les impulsions ultra-courtes sont utilisées pour obtenir une gravure/cueillette extrêmement précise et précise afin de faciliter la production d'appareils de densité plus petite et plus élevée. La machine est également conçue pour accueillir à la fois des procédés chimiques humides et des procédés de gravure/cendres secs. Le filtre Cross-Flow dispose d'un filament intégré pour la récupération rapide des sous-produits post-processus. La conception du tambour chauffé offre une excellente uniformité, minimisant les variations de topographie de surface avec son contrôle de température multi-zones amélioré. Le collecteur intégré stocke les plaquettes post-processus pour la collecte des déchets. LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX offre également des capacités de contrôle avancées. Le InfinityFlex™ Control amélioré est un logiciel complet qui fournit de nombreuses fonctionnalités puissantes telles que le suivi des processus et des recettes en temps réel, la maintenance prédictive, l'optimisation des recettes et le diagnostic à distance. L'outil offre également un fonctionnement à simple bouton et un étalonnage automatique pour une interface utilisateur simple et intuitive. La précision du processus est également optimisée avec l'actif de métrologie in situ pour s'assurer que des résultats précis, cohérents et reproductibles sont générés. Alliance 9600 PTX est un système de graveur/asher fiable et puissant, offrant des capacités avancées pour une large gamme de processus de gravure/ashing dans l'industrie des semi-conducteurs. Avec des capacités de contrôle complètes et un rendement amélioré, le modèle LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX permet de réduire la complexité et les coûts des outils, tout en réduisant les temps d'arrêt et en maximisant l'efficacité des processus.
Il n'y a pas encore de critiques