Occasion LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9299377 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX est un graveur/asher très efficace conçu spécifiquement pour améliorer le débit de traitement, réduire l'empreinte et la capacité de traitement parallèle. Cet équipement de traitement de plaquettes est un système de type batch avec une large fenêtre de processus qui permet une plus grande efficacité et polyvalence. Il offre diverses options de chimie de processus, y compris les chimies à base de liquides et de gaz. L'unité dispose de postes à double serrure, d'un transport de plaquettes de 8 ", ainsi que d'une capacité de traitement parallèle. Les principaux avantages de cette machine comprennent la capacité de simplifier le processus de serrure de charge, l'efficacité et la répétabilité améliorées du nettoyage, et la capacité de contrôler avec précision les produits chimiques de processus de gravure. Le contrôle robuste du processus et l'automatisation font de l'outil idéal pour le traitement simultané des gravures et des cendres pour un meilleur rendement et une meilleure répétabilité. L'actif dispose également d'un contrôle par lots multi-zones pour améliorer la surveillance des processus, ce qui permet de changer en temps réel les produits chimiques et les emplois à bord. Alliance 9600 PTX est un graveur/asher fiable, conçu pour résister aux conditions extrêmes pendant le traitement, et est équipé de CPU haute vitesse, modèle vidéo dédié, logiciel de contrôle des processus, panneau tactile couleur complète, et des moniteurs de vide et de pression. Sa conception modulaire le rend très flexible afin que différents modules de processus - y compris siliciure, gravure, cendres, et d'autres normes - puissent être configurés au besoin. En outre, l'équipement dispose de la technologie intelligente de dépôt de films CVDTM pour le contrôle en temps réel et l'uniformité accrue des films déposés sur une plaquette. LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX est équipé de la technologie Intelligent Process Monitoring (IPM) pour surveiller et contrôler continuellement les paramètres du processus et ajuster automatiquement les paramètres de l'outil, tout en veillant à ce que les étapes du processus, y compris le pré-nettoyage, la gravure et le nettoyage post-émission, soient exécutées avec précision. Avec un débit maximum de 300 plaquettes par heure, ce système est idéal pour les besoins actuels de traitement des plaquettes.