Occasion LAM RESEARCH Alliance A4 4420XL #9169591 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A4 4420XL est un graveur/asher conçu pour un large éventail d'applications nécessitant une gravure à haut volume et haute résolution. Il a été conçu avec une plate-forme modulaire qui lui permet de gérer une gamme de processus de gravure. La machine a une architecture à 4 chambres, avec la troisième chambre utilisée pour la gravure isotrope des matériaux de silicium-manganèse. Il offre un contrôle précis des processus et une large gamme de paramètres de processus, permettant aux utilisateurs de graver des structures complexes dans une gamme de matériaux. Le A4 4420XL dispose d'une unité de distribution de gaz à haut rendement à bord qui fournit une solution de gravure hautement contrôlée, programmable et de haute précision. Le processus de gravure dépend d'une combinaison de réactifs, de pression et de température, et LAM RESEARCH a développé des recettes de réactifs spécifiques et des flux de gaz personnalisés afin de produire les meilleurs résultats possibles. La machine dispose également d'un système de détection optique des bords qui lui permet de graver avec précision les structures de haute précision, tandis que le manomètre multi-étages offre un retour continu dans la chambre de processus, permettant une gravure uniforme sur une longue période de temps. Ce graveur-asher est capable de graver jusqu'à 0,01 micron par seconde, ce qui permet une large gamme d'épaisseurs de gravure pour une gamme de substrats. Il offre également un contrôle flexible du processus avec la capacité d'ajuster le débit de gaz, la pression et la température pour répondre à des processus multi-étapes, tels que le transfert de couche, gravure de métal de film épais, ou dicing. En outre, le A4 4420XL est conçu pour être compatible avec une gamme de surfaces de support de plaquettes, du verre et du quartz au silicium et aux dispositifs low-k. En résumé, LAM RESEARCH ALLIANCEA4 4420XL est un graveur/asher de haute précision qui offre aux utilisateurs une solution polyvalente pour une gamme de processus de gravure et ashing. Il offre un emballage très efficace, avec un système de contrôle de processus précis, une gravure de haute précision, et une gamme de substrats. Un certain nombre de caractéristiques, telles que le système de détection de bords optiques et le manomètre multi-étages, garantissent qu'il est en mesure de produire des résultats toujours précis pour des applications à la fois très utilisées et de faible volume.