Occasion LAM RESEARCH Alliance A4 4520 #9272823 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A4 4520 est un graveur/asher conçu pour être utilisé dans des applications avancées de balisage. Il s'agit d'un outil de gravure à sources multiples avec des fonctionnalités d'automatisation avancées telles qu'un positionneur de substrat entièrement automatisé, une manipulation intégrée des plaquettes et un réacteur à haut rendement de dépôt. Cet équipement fournit un résultat de gravure très précis avec des capacités de production à haut débit. Le système est capable de manipuler des substrats jusqu'à 200mm de diamètre et peut accueillir une gamme de gaz de procédé tels que l'oxygène, l'argon, l'azote et le chlore. Il dispose également d'une chambre de gravure multi-étages avec la technologie de turbine à vide haut de gamme pour supporter les opérations haute pression. L'unité de régulation et de contrôle avancée permet d'ajuster les taux de gravure dans la gamme des nanosecondes pour obtenir des résultats de gravure précis. La machine de manutention intégrée des plaquettes de l'Alliance A4 4520 comprend un chargeur aérien et un sous-système qui trace avec précision les substrats sur le dessus du collecteur. Le sous-système « wafer handler » dispose d'un outil de vision intégré qui utilise des capteurs optiques pour surveiller la position et l'orientation du substrat afin d'assurer l'alignement avec l'électrode. La chambre dispose également d'un dispositif automatisé de surveillance et de contrôle du plasma qui permet de suivre et de réguler les plasmas avant et après la gravure. LAM RESEARCH Alliance A4 4520 dispose également d'un modèle de distribution de puissance RF avec une large gamme de niveaux de puissance qui sont disponibles pour une variété d'applications. L'outil est capable de créer des surfaces horizontales avec une grande précision dimensionnelle. Il offre également un équipement d'imagerie à haute dose en option pour l'imagerie à haut débit, à faible dose et à ultra haute résolution. Alliance A4 4520 est un excellent choix pour les applications avancées de bricolage. Il offre un contrôle de précision avec un haut débit et est équipé de fonctionnalités d'automatisation intégrées pour une productivité élevée. Le système intégré de manutention des plaquettes, le moniteur et l'unité de contrôle plasma automatisés, et la machine de distribution d'énergie RF font de ce graveur/asher un outil efficace et fiable pour la gravure.