Occasion LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE #9072558 à vendre en France
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ID: 9072558
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1998
Poly etcher, 8"
Cassette: plastic, 8"
Wafer shape: SNNF
SMIF interface: no
System Information:
Platform: Alliance 4.1
Process chamber qty: 3
Software version: A2.2-018
SECS/GEM: yes
Chambers:
Position 1 (PM1): TCP9400SE / Poly etch
Position 2 (PM2): TCP9400SE / Poly etch
Position 3 (PM3): TCP9400SE / Poly etch
Position 4 (PM4): none
Etch chambers:
Turbo pump EDWARDS STP-A1303CV80
Turbo N2 fixed or MFC Type Fixed
Helium UPC UPC-8130
Endpoint detector No
Pendulum valve model VAT 65046-PH52-ADE
Chamber Manometer MKS E29B-23813
Turbo Manometer MKS 625A-23347
Foreline Manometer MKS 625A-11TD
Helium Manometer yes
Top RF generator model AE / 3155059-026
Bottom RF generator model AE / 3155059-028 (RFG1250 HALO)
TCP Match yes
Bias Match yes
TOP RF Sense Box yes
Bias RF Sense Box yes
Auto Tune Board yes
DIP Board yes
VCI Connected No
Gas Configuration:
Chamber volume used for gas cal: 36200ml
Gas Box:
Type: -
Gas box qty: 3, stacking
Manual valve: yes on each line
Pressure gauge: yes on each line
Regulator: yes on each line
Filter: yes on each line
Gas Panel Pallet:
Gas line qty with N2 purge line 7 lines per chamber
Gas line qty without N2 purge line 0
MFC type UFC-1661 / UFC-1660 / FC-2950MEP5
Gas line (gas name, MFC size):
PM1 SF6 200 / UFC-1660
Line 1 SO2 100 / UFC-1660
Line 2 Ar 200 / UFC-1660
Line 3 O2 100 / UFC-1660
Line 4 He 200 / FC-2950MEP5
Line 5 CF4 200 / FC-2950MEP5
Line 6 NF3 304 / UFC-1661
Line 7 -
Line 8
PM2
Line 1 SF6 200 / UFC-1660
Line 2 SO2 100 / UFC-1660
Line 3 Ar 200 / UFC-1660
Line 4 O2 100 / UFC-1660
Line 5 He 202 / FC-2950MEP5
Line 6 CF4 200 / UFC-1661
Line 7 NF3 405 / UFC-1661
Line 8 -
PM3
Line 1 SF6 200 / UFC-1660
Line 2 SO2 100 / UFC-1660
Line 3 Ar 203 / UFC-1660
Line 4 O2 102 / UFC-1660
Line 5 He 200 / UFC-1661
Line 6 CF4 200 / FC-2950MEP5
Line 7 NF3 315 / UFC-1661
Line 8 -
Mainframe:
Load lock: Dual VCE loader / manual door open
Robot type: BROOKS Model 001-7600-10 with dual aluminum blade
EMO button: front, side
Signal tower: front; G / Y / R
System monitor display: (1), front
Remotes: (2) RPM
EMO button: yes
Line frequency and voltage: 208VAC, 3 phase
Remote UPS interface: yes
UPS: no
Heat Exchanger type:
For cathode: NOAH PRECISION Model 3300: -20ºC to +90ºC
QTY: 3 (not included)
Pumps type:
Transfer Module EBARA A70W, not included in scope of supply
PM1 EBARA A30W, not included in scope of supply
PM2 EBARA A30W, not included in scope of supply
PM3 EBARA A30W, not included in scope of supply
Gas Scrubber: (1) EBARA GTE-3-0WVT, not included in scope of supply
Currently in cleanroom
1998 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE est un équipement de gravure et de cendres très avancé qui offre des performances de gravure et de cendres améliorées pour de nombreux outils et procédés. Ce graveur/asher avancé a des résultats à la fois reproductibles et cohérents pour répondre aux exigences les plus exigeantes des clients. Le système comprend un chargeur/déchargeur automatique et un bras robotique 3 axes pour le chargement/déchargement des plaquettes, ce qui le rend idéal pour l'automatisation de la productivité. L'unité automatisée assure un contrôle précis du mouvement des plaquettes avec des temps de cycle rapides et une méthodologie précise. Le logiciel de contrôle de processus est également configurable pour assurer une précision optimisée pendant le traitement. Comme machine de gravure/cendres, le A4 9400SE peut être utilisé pour traiter une variété de matériaux allant des métaux au verre. L'outil dispose également d'une alimentation robuste et d'une entrée basse tension pour garantir des résultats cohérents et exigeants pour les processus de gravure et de cueillette. Avec une capacité de débit élevée pouvant atteindre 120 wafers par heure, l'actif est capable d'obtenir un contrôle de volume et de processus serré. Le modèle est également conçu avec une variété d'interfaces d'outils, de sorte que les clients peuvent facilement configurer l'équipement pour répondre à leurs besoins spécifiques. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SE offre également un suivi et une analyse des données en temps réel pour la validation et la résolution des problèmes, permettant aux utilisateurs de suivre l'ensemble du processus en temps réel. Grâce à une protection et une analyse complètes des plaquettes du système, les utilisateurs peuvent ajuster les paramètres du processus pour corriger et optimiser les solutions afin de maximiser les performances. En plus d'être une unité de gravure et de cendres efficace et automatisée, Alliance A4 9400SE offre également des capacités de contrôle de processus avancées et des fonctionnalités de maintenance. La machine comprend la protection contre les contaminants et la mesure rapide des plaquettes ainsi que le diagnostic détaillé et le contrôle de précision sur le processus. En outre, l'outil peut mesurer la géométrie et l'épaisseur des plaquettes, ce qui permet d'obtenir précision et précision dans les processus de gravure et de cueillette. Dans l'ensemble, ALLIANCE A4 9400 SE est un atout fiable, efficace et précis qui combine un contrôle précis, des performances améliorées et une automatisation avec un suivi et une analyse en temps réel afin de permettre une production et une optimisation des processus efficaces. Ses caractéristiques avancées en font le modèle idéal pour des travaux de gravure et de cendres de haute qualité, rapides et reproductibles.
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