Occasion LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE #9169592 à vendre en France
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ID: 9169592
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Etcher, 8"
1997 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE est un graveur/asher polyvalent conçu pour fournir une gamme complète de ressources pour les processus de gravure/ashing simultanés. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SE est une unité intégrée monobloc qui comprend à la fois des éléments de gravure et d'ashing au sein d'une même plate-forme. Cet équipement haute performance offre des temps de traitement de gravure rapides (jusqu'à 15 cm2/min), une productivité améliorée et des résultats à haut rendement. Alliance A4 9400SE offre des fonctionnalités de programme exclusives, y compris une interface tactile automatisée et conviviale, enrichie de tous les paramètres nécessaires pour offrir une commodité d'utilisation optimale. Le système est complet avec un grand écran couleur 24 bits avec un écran tactile de 15 x 5 pouces pour une utilisation conviviale. ALLIANCE A4 9400 SE utilise quatre zones de température indépendantes pour les processus de gravure thermique, avec des plages de température allant jusqu'à 500 ° C pour la gravure sélective et l'ashing des dépôts. Un régulateur de débit de gaz intégré permet un contrôle précis des propriétés et de la distribution du gaz. Un élévateur à wafer chaud fournit un ajustement automatisé des paramètres basé sur les paramètres de l'expérience et la configuration de l'échantillon. Chaque composant peut être réglé individuellement en plusieurs orientations pour garantir des résultats parfaits. De plus, LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE etcher/asher offre une polyvalence des procédés pour la gravure humide et sèche, y compris la capacité de graver une grande variété de matériaux, tels que le silicium, le nitrure de gallium (GaN) et le phosphure d'indium (InP). Il offre également des rendements et des rendements de production améliorés, avec des canaux à haute résolution et des élévateurs à faible angle pour diverses configurations de substrat. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SE etcher/asher offre une qualité de service (QoS) exceptionnellement élevée avec d'excellentes cotes de sécurité et un suivi en temps réel de l'état de l'unité et des consommables. Une machine d'alarme automatique intégrée avertit rapidement l'opérateur de tout dysfonctionnement de l'outil. Alliance A4 9400SE comprend également des fonctionnalités d'accès à distance et de compatibilité avec les systèmes de contrôle SCADA. Dans l'ensemble, ALLIANCE A4 9400 SE fournit une solution complète de gravure/cueillette pour une variété de matériaux, offre des rendements élevés et une précision supérieure, tout en maintenant des coûts opérationnels faibles. Cette polyvalence, facile à utiliser etcher/asher est le choix idéal pour les processus de haute technologie.
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