Occasion LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #293627729 à vendre en France
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ID: 293627729
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Etcher, 8"
Process: Metal etch / strip
(2) Chambers
(2) DSQ Strip chambers
(2) Noah 3300 chillers with controllers
(2) Cassette load / unload platens
8-Line gas box
Remote operator system
Remote gas box assembly
Remote power distribution box
Gas used: Boron trichloride, chlorine, sulfur hexafluoride, oxygen, nitrogen, argon
Operating system: Next 3.3
Does not include TM Robot
Missing parts:
Wafer aligner
VCE Board
VME Board
1996 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE est un graveur/asher avancé spécialement conçu pour le haut débit, la fiabilité et la flexibilité des processus. Il est capable de traiter un large éventail de substrats dont le silicium, les semi-conducteurs III-V, le verre, les métaux et la céramique. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE dispose d'un design multi-chambres qui permet la gravure et la cueillette simultanées de plaquettes verticales et horizontales. Il est configuré avec quatre chambres de processus dont une ashing station exclusive. Un mode « turbo » unique accélère la gravure et le cendrage, permet un traitement à basse température et réduit les dérives de pression pendant le traitement. En outre, les programmes de processus de grande capacité permettent un traitement à haut débit et répétable pour la production de petits et de grands volumes. Alliance A4 9600SE est conçu pour être facile à utiliser, avec des interfaces opératoires intuitives et la capacité de s'intégrer avec des outils multiprocess. De plus, ses fonctions avancées de surveillance et de contrôle des processus fournissent une rétroaction détaillée sur les performances des processus et permettent un réglage manuel ou automatique des paramètres des processus conformément aux résultats de performance souhaités. ALLIANCE A4 9600 SE etcher/asher est hautement personnalisable et offre une variété de configurations et d'options de processus, y compris post-gravure clean, source d'ions et source d'énergie pulsant, suivi de substrat, et journaux de processus. Associée à des dispositifs de sécurité conçus pour protéger les utilisateurs et l'équipement de traitement, LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE offre des avantages importants pour les applications de gravure et de cendrage à haut volume. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE est un graveur/asher avancé qui offre un environnement de traitement unique et flexible pour répondre aux besoins de tout procédé de fabrication de semi-conducteurs. Sa conception multi-chambres, sa vitesse de traitement rapide, son interface opératoire intuitive et ses configurations personnalisées en font un choix idéal pour les processus avancés qui nécessitent un débit et une fiabilité élevés.
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