Occasion LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9098133 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE est un graveur/asher entièrement automatisé habituellement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement offre aux utilisateurs une large gamme d'options pour la planarisation chimique-mécanique (CMP) de précision des substrats de circuits intégrés (IC) et est capable de graver (ou aspirer) une variété de matériaux, y compris le métal, les diélectriques et les polymères. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE est capable de fournir une réaction chimique uniforme à n'importe quelle plaquette CI à motifs ou non. Le système comprend plusieurs modules et composants de processus, dont une unité de livraison et de remise en état de produits chimiques, un manutentionnaire de plaquettes, une machine de manutention de robots/cassettes, un outil de livraison de gaz et plusieurs chambres de processus. L'actif de livraison et de remise en état des produits chimiques peut être configuré pour fournir une variété de produits chimiques de gravure et de cendrage, y compris l'acide sulfurique, le peroxyde d'hydrogène et l'acide chlorhydrique. Le modèle de distribution de gaz contrôle la pression et le débit des chambres de procédés et est capable d'introduire de l'oxygène, de l'azote, du chlore, du fluor et d'autres gaz de procédés. Le gestionnaire de plaquettes est la partie la plus critique d'Alliance A4 9600SE et est responsable du transfert de plaquettes entre les chambres de processus et l'équipement de manutention robotique/cassette. Le gestionnaire de plaquettes est contrôlé à l'aide d'un progiciel développé à l'interne, appelé « SantéLAB », qui offre la possibilité de surveiller et d'ajuster les paramètres requis pour le processus de gravure ou de cendres, tels que la température, le débit, la pression et l'exposition aux gaz de procédé. ALLIANCE A4 9600 SE a plusieurs fonctions intégrées de sécurité. Par exemple, un interrupteur d'arrêt d'urgence est situé au-dessus de chaque chambre de gravure ou de cueillette et est conçu pour être activé en cas de situation d'urgence, telle que surchauffe, haute pression de gaz, panne de courant, etc. De plus, le système automatisé est conçu pour minimiser le risque d'exposition à des produits chimiques ou à des gaz dangereux en incorporant une unité d'aération qui est chargée d'éliminer les vapeurs chimiques ou les gaz de traitement de l'environnement. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE est une machine de gravure et de cendrage automatisée à haute performance capable de fournir aux utilisateurs un traitement efficace et fiable d'une large gamme de matériaux pour la fabrication de semi-conducteurs. Les fonctions intégrées de l'outil réduisent le risque d'exposition aux produits chimiques et aux gaz dangereux, faisant de LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE une plate-forme sûre et fiable pour le traitement des CMP.