Occasion LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9161966 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE est un équipement de graveur/asher, plus précisément un équipement de graveur/asher à oxyde humide conçu pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Le système est une combinaison de deux processus électrochimiques indépendants - la gravure et l'ashing, chacun avec ses propres systèmes intégrés de contrôle des processus et de sécurité. L'unité est conçue pour fournir un haut degré de précision et d'uniformité tout au long des processus de gravure et de cueillette. Il utilise également un contrôle de performance avancé pour s'assurer que les résultats d'oxydation sont contrôlés avec précision et sans traînée. LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE utilise une solution à base de chlore pour le processus de gravure. Le chlore est délivré par une machine de distribution de liquide alimentée électriquement contenant du chlore gazeux de haute pureté et une solution fortement tamponnée de soude. Cette solution de chlore est pompée à travers une chambre de réaction spécialement conçue vers le substrat placé sous vide à l'aide de systèmes avancés de transfert de vide. Au cours de la gravure, les ions chlore réagissent avec le semi-conducteur pour former de l'oxyde. L'accumulation d'oxyde est surveillée par une combinaison de détecteurs infrarouges in situ et de détecteurs de surface. Le processus de cueillette utilise une décharge d'arc électrique ainsi qu'un mélange gazeux spécial. Cette combinaison produit un courant de plasma chaud qui transforme la couche d'oxyde en vapeur qui est ensuite évacuée de la chambre du réacteur. Au cours du procédé, l'oxyde se vaporise à partir du substrat et peut être ajusté en ajustant la puissance électrique à la composition de l'arc et du gaz. L'outil A4 9600SE etcher/asher d'Alliance est équipé de nombreuses caractéristiques de sécurité, y compris un protocole de sécurité intégré qui surveille et contrôle la température, la pression et les niveaux de courant. L'actif comprend également des mesures visant à protéger le personnel, les matériaux et l'équipement en contrôlant les conditions environnementales telles que les niveaux de particules, la pression, l'énergie optique et le courant électrique. ALLIANCE A4 9600 SE a été conçu pour un fonctionnement et un étalonnage optimaux, offrant des performances de pointe pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Le modèle etcher/asher offre un contrôle exceptionnel, l'uniformité et la précision, aidant les fabricants de dispositifs à rester en avance sur leur concurrence.