Occasion LAM RESEARCH Alliance A4 #9114097 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A4 est une solution avancée de traitement des gravures/cendres. C'est le produit phare du portefeuille « all-ion » de LAM RESEARCH, pour traiter les applications de gravure/cendres difficiles. Ce produit est conçu pour donner plus de vitesse et d'uniformité améliorée, par rapport à ses prédécesseurs. C'est un système configurable en ligne capable de graver et d'aspirer une gamme de substrats avec le plus haut degré de contrôle et de répétabilité des processus. Il a une grande taille de chambre, capable de recevoir de grandes tailles de substrat, jusqu'à 11 pouces en diagonale, pour permettre une production à haut débit. Alliance A4 est équipé d'une source de plasma haute performance, capable de générer du plasma basse énergie même à haute tension de source. Il permet une excellente uniformité entre les processus gravure/cendres sans compromettre la vitesse ou les paramètres du processus. Sa conception de source configurable permet de modifier la forme et la position de la source d'ions pour mieux adapter les substrats ou les exigences du processus. Il est bien adapté aux applications de gravure profonde ou de haute sélectivité en utilisant sa fonction unique « gravure ionique réactive ». Cela permet un traitement extrêmement uniforme en direction verticale en utilisant un contrôle ionique à longue portée. LAM RESEARCH Alliance A4 propose également une large gamme d'options de contrôle et de surveillance de processus, telles que la détection d'endpoint, le profilage post-gravure/cendres, le chauffage et le refroidissement des substrats, un système à haute résolution, ainsi que des séquences de contrôle de processus entièrement intégrées. Il est également capable de traiter des substrats dans des outils monobloc et cluster pour une productivité plus élevée. Alliance A4 est conçu pour maximiser les rendements et augmenter le débit pour les processus de gravure/cendres les plus difficiles. Il peut être facilement intégré aux systèmes d'automatisation de la plaquette fab et est conçu pour exécuter plusieurs opérations avec un temps d'arrêt minimal et une productivité plus élevée. Le système est construit avec des matériaux robustes, permettant des performances de premier plan et la fiabilité dans toutes les conditions. Grâce à ces capacités, LAM RESEARCH Alliance A4 peut aider les clients à atteindre les plus hauts niveaux de qualité de produits et de procédés.