Occasion LAM RESEARCH Alliance A4 #9138509 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A4 est un graveur/asher avancé spécialement conçu pour le processus de gravure et de cendres. L'A4 offre des performances élevées avec une combinaison unique de gravure ionique, thermique et optique. Il dispose d'un processus rapide, fiable et répétable avec un excellent contrôle du processus et une énergie plasma contrôlable. Le A4 a une source d'ions conçue sur mesure et génère des densités plasmatiques significativement plus élevées que les conceptions traditionnelles de graveur/asher. Le A4 dispose également d'une grande chambre de processus ouverte avec des pressions de processus plus élevées que d'autres modèles de graveur/asher. Cela permet un débit plus élevé et des taux de gravure plus efficaces. L'A4 est équipé d'une chambre de processus brevetée et automatisée qui utilise la technologie CDA (Chemical-Dependent-Aberration). Cette technologie permet de réduire la variation de bord des caractéristiques gravées, de minimiser les défauts de gravure et d'assurer des profils uniformes. Le A4 supporte jusqu'à 8 couches de recette, qui peuvent être utilisées pour exécuter plusieurs processus de gravure simultanément. Son équipement de mise au point plasmatique pour les plasmas est plus stable et plus reproductible avec un contrôle et un diagnostic macro complets. Le système A4 prend également en charge un large éventail de conditions préalables au processus et de points d'arrêt du processus. En outre, la surveillance avancée des processus permet des capacités de contrôle in situ des processus. L'A4 est adapté à un large éventail d'applications, y compris la gravure MEMS, la gravure anisotrope 3D, la gravure diélectrique interétatique avancée, la gravure isotrope ceria, la gravure semi-conductrice, et plus encore. Il prend également en charge une variété de gaz de procédé et permet aux utilisateurs de créer des recettes de gravure optimisées. L'A4 fournit une plate-forme de gravure universelle qui est compatible avec une grande variété de matériaux, permettant aux utilisateurs de graver une large gamme de couches de processus pour une variété d'applications. Pour assurer un fonctionnement sûr, l'A4 offre des caractéristiques de sécurité avancées telles que des portes de chambre à plasma verrouillées et une faible pression RF de fonctionnement. Le circuit avancé de l'A4 améliore la fiabilité du système et l'unité de détection des défaillances de bord identifie et signale rapidement les problèmes potentiels, ce qui permet de prendre rapidement des mesures correctives. Le A4 est une machine de gravure efficace, fiable et très précise et est idéal pour la gravure et le flux de cendres. Il offre des améliorations spectaculaires dans le débit et la répétabilité des processus pour les processus de gravure de dispositifs semi-conducteurs exigeants.